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γ-Fe_2O_3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的湿敏性能研究  
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【英文篇名】 Humidity Sensing Properties of γ-Fe_2O_3/Silicon Nanoporous Pillar Array Humidity Sensor
【下载频次】 ★★★☆
【作者】 王海燕; 李隆玉; 董永芬; 李新建;
【英文作者】 WANG Hai-yan1; LI Long-yu2; DONG Yong-fen2; LI Xin-jian21.Department of Technological Physics; Zhengzhou University of Light Industry; Zhengzhou 450002; China; 2.Department of Physics and Laboratory of Material Physics; Zhengzhou University;
【作者单位】 郑州轻工业学院技术物理系; 郑州大学物理工程学院教育部重点实验室;
【文献出处】 传感技术学报 , Chinese Journal of Sensors and Actuators, 编辑部邮箱 2008年 07期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 γ-Fe2O3; 硅纳米孔柱阵列; 湿度传感器;
【英文关键词】 γ-Fe2O3; silicon nanoporous pillar array(Si-NPA); humidity sensor;
【摘要】 利用匀胶旋涂技术,将微乳-水热法制备出的、粒径均匀可控的γ-Fe2O3纳米颗粒沉积在具有独特微纳双重结构的硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)基片上,制成γ-Fe2O3/Si-NPA湿度传感元件,并对其进行湿度感应测试结果发现,当环境相对湿度(RH)从11%升高到95%时,该元件的电容和电阻分别呈高灵敏度的单值增加和单值降低。在100 Hz的电流频率下,元件的高湿电容值升为低湿电容值的12 500%,低湿电阻值是高湿电阻值的51 515%。分析表明,微乳-水热法对γ-Fe2O3纳米颗粒尺寸的控制以及Si-NPA衬底的独特结构是提高元件灵敏度的主要原因。
【英文摘要】 γ-Fe2O3 nanocrystals were deposited on the silicon nano-porous pillar array(Si-NPA) template which has special micro-nano hierarchical structure to prepare a γ-Fe2O3/Si-NPA humidity sensor.The size of γ-Fe2O3 nanocrystal could be controlled by a new chemical method of microemulsion and hydrothermal.Room temperature capacitive and resistive sensitivity of this γ-Fe2O3/Si-NPA sensor was investigated.The sensor's capacitance and resistance are very sensitive to humidity.When the relative humidity(RH) changed f...
【基金】 国家自然科学基金资助(10574112)
【更新日期】 2008-08-27
【分类号】 TP212
【正文快照】 在湿度传感器领域,Fe2O3和Al2O3烧结陶瓷引领了陶瓷材料做为湿度传感材料的先锋。目前Fe2O3烧结陶瓷湿度传感器也已投入商业化生产和实际使用。但是陶瓷块体传感器存在缺点,当敏感材料对水分子产生吸附之后,多孔陶瓷的深孔洞结构使水分子不易脱附,所以需要高温处理才能实现传感

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