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压力传感器灵敏度特性的研究  
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【英文篇名】 Study of the Characteristics of Pressure Sensor Sensitivity
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【作者】 周民;
【英文作者】 ZHOU Min(Wuhan Institute of Shipbuilding Technology; Wuhan 430050; China);
【作者单位】 武汉船舶职业技术学院电子电气工程系 湖北武汉;
【文献出处】 武汉船舶职业技术学院学报 , Journal of Wuhan Institute of Shipbuilding Technology, 编辑部邮箱 2005年 06期  
期刊荣誉:ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 压力传感器; 灵敏度;
【英文关键词】 Pressure sensor; Sensitivity.;
【摘要】 针对应变片在圆平薄膜上的两种布置方式,导出了圆平薄膜压力传感器灵敏度的计算公式,分析了应变片布置方式和位置以及温度对灵敏度的影响,通过理论计算与实际测量的结果比较,指出了提高压力传感器灵敏度的有效途径,并且分析了应变片两种布置方式压力传感器灵敏度与温度的关系。
【英文摘要】 On the basis of the two basic arrangements of stain-resistance on the round-and-flat diaphragm,the calculating formulas of thin-film pressure sensor sensitivity were introduced.By analyzing the effects of the location and arrangements of stain-resistance on pressure sensor sensitivity and the relation between environmental temperatures and its sensitivity,a new way of improving pressure sensor sensitivity has been acquired based on theoretical calculation and experiment tests.
【更新日期】 2006-02-27
【分类号】 TP212.1
【正文快照】 1应变片的布置方式常用的应变片有两大类即金属电阻应变片和半导体应变片。为了提高压力传感器的灵敏度和减小非线性误差,在理论计算中,一般采用图1薄膜应变片在圆平膜片上的两种基本布置结构,将两个应变电阻扩散在圆心附近的正应变区,另两个应变电阻扩散在边缘附近的正应变区?

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