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掺杂纳米SnO_2气敏传感器的研究进展  
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【英文篇名】 Research Progress on Doped SnO_2 Gas Nanosensors
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【作者】 杨华明; 杜春芳; 欧阳静; 张向超; 苏晓辉;
【英文作者】 YANG Hua-ming; DU Chun-fang; OUYANG Jing; ZHANG Xiang-chao; SU Xiao-hui (Department of Inorganic Materials; School of Resources Processing and Bioengineering; Central South University; Changsha 410083; China);
【作者单位】 中南大学资源生物学院无机材料系; 中南大学资源生物学院无机材料系 长沙;
【文献出处】 微纳电子技术 , Micronanoelectronic Technology, 编辑部邮箱 2005年 04期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 二氧化锡; 掺杂; 传感器; 气敏特性;
【英文关键词】 SnO_2; doping; sensor; gas-sensing characteristic;
【摘要】 介绍了半导体气敏传感器的发展历史和掺杂纳米SnO_2气敏传感器的特性与应用;详细分析了掺杂金属单质、金属氧化物和稀土元素对SnO_2气敏性的影响,通过掺杂可以显著改善其对特定气体的灵敏度、稳定性和选择性等参数;利用元件表面的氧吸附理论分析掺杂纳米SnO2的气敏机理;展望了SnO_2气敏传感器的发展前景。
【英文摘要】 The development history of semiconductor gas sensors,the properties and application of doped SnO2 gas nanosensors are introduced. Effects of doping metals,metal oxides and rare-earth on the gas sensitivity of SnO2 are thoroughly analyzed. Sensitivity,stability and selectivity of gas sensor towards special gases can be greatly improved through doping. The gas-sensing mechanism of doped SnO2 nanosensors is analyzed using the oxide adsorption theory on the sensor surface. Development prospect of SnO2 gas senso...
【基金】 国家自然科学基金资助项目(50304014); 湖南省科技攻关计划项目(03KGY3038); 中南大学研究生教育创新工程资助项目(030702)
【更新日期】 2005-08-19
【分类号】 TP212
【正文快照】 1引言半导体气敏传感器的研制和生产已有40多年的历史,通常通过气敏前后电导率的变化来推知被测气体的信息,这种变化来自于薄膜吸附被测气体前后的表面势垒变化[1,2]。早在1931年研究人员就发现,金属氧化物Cu2O的电导率随H2O蒸汽的吸附而改变,接触气体时其电导率随气体种类及浓

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