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微机械连续薄膜变形反射镜  
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【英文篇名】 Micromachined Continuous Membrane Deformable Mirrors
【下载频次】 ★★★☆
【作者】 闫金良;
【英文作者】 YAN Jin-liang (Department of Physics; Yantai Normal University; Yantai 264025; CHN);
【作者单位】 烟台师范学院物理系 山东烟台;
【文献出处】 半导体光电 , Semiconductor Optoelectronics, 编辑部邮箱 2005年 03期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 大气光学; 薄膜变形镜; 微机械; 静电力驱动;
【英文关键词】 atmosphere optics; membrane deformable mirror; micromachine; electrostatic actuation;
【摘要】 建立了微机械连续薄膜变形反射镜的静电力驱动理论模型,推导出微机械连续薄膜变形反射镜的变形位移和驱动电压的关系表达式,利用该公式、静电力表达式和弹性支撑的回复力分析了变形镜的稳定工作驱动、不稳定工作驱动和最大变形位移,讨论了变形镜的结构参数对变形位移的影响。所得结果对于设计微机械连续薄膜变形反射镜具有重要意义。
【英文摘要】 A theoretical model is developed for electrostatically controlled micromachined continuous membrane deformable mirrors. Analytic expressions of membrane deflection versus applied voltage are derived from this simple model.By using these formulas,electrostatic force and mechanical force,the stable actuation,snap-through instability and the maximum of membrane deflection are analyzed in detail.The influence of deformable mirrors structure parameters on deflection is discussed.The results are very useful for ...
【基金】 国家高技术“863”计划资助项目(2001AA313090).
【更新日期】 2005-08-30
【分类号】 TH703
【正文快照】 1引言变形镜作为一种常用的波前校正器在自适应光学系统中以及空间无线天线中都是必不可少的重要部件[1],大部分的应用都要求变形镜的体积小、重量轻、能耗低、成本低、响应快和高集成度,而现有技术制作的变形镜都具有体积大、能耗高的缺点,且都采用分别制造各个单元,然后手工?

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