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MEMS微推进技术的研究  
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【英文篇名】 Study on MEMS Micro-Thruster Technology
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【作者】 尤政; 张高飞; 任大海;
【英文作者】 YOU Zheng; ZHANG Gao-fei; REN Da-hai (The Department of Precision Instrument and Mechanology; Tsinghua University; Beijing 100084; China);
【作者单位】 清华大学精密仪器与机械学系微光机电集成技术研究室; 清华大学精密仪器与机械学系微光机电集成技术研究室 北京;
【文献出处】 纳米技术与精密工程 , Nanoteohnology and Precision Engineering, 编辑部邮箱 2004年 02期  
期刊荣誉:ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 微推进器; MEMS推进; 微型卫星;
【英文关键词】 microthruster; MEMS propulsion; microsatellite;
【摘要】 空间推进器是卫星的姿态控制及轨道的修正、保持和机动的重要执行元件 .随着小卫星、微卫星、纳卫星、皮卫星和星座及编队飞行技术的出现 ,对空间推进技术提出了更高的要求 .在综述国内外微推进技术的基础上 ,着重介绍研制的微型数字式MEMS阵列推进器的总体结构设计、推进剂的选择与性能研究、推进阵列的MEMS加工和封装工艺研究等
【英文摘要】 Spatial thruster is the important component for orbit maintenance, station keeping as well as special attitude control of the microsatellite. With the development of micro/nano satellites and their constellation and formation flying, more advanced spatial propulsion technology is required. In this paper, the review of MEMS-based micropropulsion developments is summarized. Based on it, the overall structure scheme of MEMS micro-thruster arrays is presented. Then the simulation and analysis of mechanical prop...
【更新日期】 2005-08-19
【分类号】 TN402
【正文快照】 空间推进技术首先是针对单颗卫星的姿态控制轨道修正、保持和机动变轨的需要而发展起来的.随着小卫星、微卫星、纳卫星、皮卫星和星座及编队飞行技术的出现,对空间推进技术提出了更高的要求,微小型化的空间推进器近年来越来越受到人们的重视,从而得到了较大发展.1 国外微推进?

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