加速度系统的结点化模型仿真-中国学术期刊网络出版总库

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加速度系统的结点化模型仿真

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【英文篇名】	Nodal Model Simulation of an Accelerometer
【下载频次】	★★★★
【作者】	肖志勇; 杨振川; 张海霞; 郝一龙;
【英文作者】	XIAO Zhiyong YANG Zhenchuan ZHANG Haixia HAO Yilong (Institute of Microelectronics; Peking University; Beijing; 100871);
【作者单位】	北京大学微电子学研究院; 北京大学微电子学研究院北京; 100871;
【文献出处】	北京大学学报(自然科学版) , Acta Scicentiarum Naturalum Universitis Pekinesis, 编辑部邮箱 2004年 03期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊中国期刊方阵 CJFD收录刊
【中文关键词】	VHDL-AMS; 结点化设计; MEMS; CAD; 模拟混合信号;
【英文关键词】	VHDL-AMS; modal design; MEMS; CAD; analog & mixed signal;
【摘要】	利用在ZeniVDE平台下建立的梁、平板质量、集总质量、气隙、压膜阻尼和锚点等结点化基本单元模型 ,对一种电容式加速度计系统进行了一系列的仿真 ,仿真内容包括静态仿真 ,时域仿真和频域仿真等。仿真结果和商用仿真工具ANSYS的仿真结果以及试验数据保持良好的一致
【英文摘要】	A capacitive accelerometer is simulated using the basic nodal model of components such as beam, plate mass, lumped mass, gap, squeeze film damper and anchor, which are implemented under ZeniVDE TM. The simulation includes static, time domain and frequency domain simulation. The simulation result is in good coincidence with the experiment result and simulation result of ANSYS, a general FEA simulator.
【基金】	国家自然科学基金 (60 3 0 60 0 8); 863计划 (2 0 0 3AA40 40 13 ); 国家重点基础发展规划“集成微光机电系统研究”基金(G19990 3 3 10 9)资助项目
【更新日期】	2005-08-19
【分类号】	TH703
【正文快照】	0　引　言MEMS(MicroelectromechanicalSystems ,微电子机械系统)作为边缘学科,其设计制造和加工技术涉及集成电路制造技术、机械工程、材料科学、电子工程、化学和生物工程等领域[1 ] 。这种跨多学科的性质给MEMS的系统级设计带来很大困难,人们很难在一个仿真平台下同时描述多

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