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Electrochemical C-V Characteristics and Photoluminescence of a-C∶N Films  
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【英文篇名】 Electrochemical C-V Characteristics and Photoluminescence of a-C∶N Films
【下载频次】 ☆
【英文作者】 CHENG Xiang~(1); CHEN Chao~(1); CAI Jia-fa~( 1); LIU Tie-lin~( 2) (1. Dept. of Phys.; Xiamen University; Xiamen 361005 CHN; 2. Institute of Nano Mater. and Technol.; Shenzhen 518048; CHN);
【文献出处】 Semiconductor Photonics and Technology , 半导体光子学与技术(英文版), 编辑部邮箱 2004年 04期  
期刊荣誉：CJFD收录刊
【英文关键词】 Doping; Chemical vapour deposition; Semiconductor materials;
【英文摘要】 Amorphous carbon (a-C) films and amorphous carbon films incorporating with the nitrogen (a-C∶N) were deposited on silicon substrates in a radio-frequency driven plasma enhanced chemical vapour deposition system, while the surface electrical properties of films were investigated by electrochemical capacitance-voltage measurements. It was examined the effect of the interface defects on the properties and deduced that the conducting type of a-C∶N films was n-type. Subsequently, a comparative studies of a-C a...
【基金】 CooperationProjectsofXiamenUniversityandShenzhenEnterprise
【更新日期】 2005-08-19
【分类号】 TN304.18
【正文快照】 1　IntroductionOverthepastfewyearscarbon -basedmaterialsfilmshaveattractedmuchattentionforapplicationsinmicro -electronicdevices[1- 3] duetotheiradvancedelectricalandmechanicalpropertiessimilartodiamond .Fabricationsofvariouselectronicdevicesbasedonamorph

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