|
|
|
|
【英文篇名】 |
ATOMIC-SCALE STUDY OF KINETICS IN FILM GROWTH (Ⅰ) |
|
【下载频次】 |
★★★★★ |
|
【作者】 |
王恩哥; |
|
【英文作者】 |
WANG En-ge (Institute of Physics & International Center for Quantum Structures Chinese Academy of Sciences;
Beijing 100080;
China); |
|
【作者单位】 |
中国科学院物理研究所国际量子结构中心 北京; |
|
【文献出处】 |
物理学进展
, Progress In Physics, 编辑部邮箱
2003年 01期
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊 |
|
【中文关键词】 |
表面动力学;
薄膜生长;
纳米结构;
形核理论;
原子扩散; |
|
【英文关键词】 |
surface kinetics;
thin film growth;
nano-structure;
aggregation theory;
atomic diffusion; |
|
【摘要】 |
本文较全面地从理论上研究了薄膜生长过程中原子在表面上的各种动力学表现 ,涉及的内容包括亚单层生长时 ,原子在表面上的扩散 ,粘接 ,成核 ,以及已经形成的原子岛之间的相互作用 ,兼并 ,失稳 ,退化等一系列过程。作为研究的基础 ,在本文的第一部分 (即0～ 6章 )中 ,我们首先介绍了目前这方面理论研究中所主要使用的各种方法。例如 ,第一性原理计算 ,分子动力学模拟 ,蒙特卡罗模拟 ,速率方程和过渡态 (TST)理论等。基于这些研究 ,我们介绍给读者为什么原子成岛时在低温下选择分形状 ,而在高温时则选择紧致状。这一过程可以用经典的扩散子限制集聚理论 (Diffusion_LimitedAggregation ,DLA)。然而当有表面活性剂存在时形核的规律完全相反 ,由此提出了一个反应限制集聚理论 (Reaction_LimitedAggregation,RLA)。这两个理论目前可以很好地解释亚单层生长时的一般形核规律。接下来我们讨论了长程相互作用对生长初期原子形核的影响 ,并进一步得出了相应的标度理论。在第 6章我们系统地研究了分了吸附对二维原子岛形状的控制性 ,从而提出了边 角原子扩散的对称破缺模型。 |
|
【英文摘要】 |
A systematic study of the kinetic and dynamic behavior of surface atoms during film growth is presented. The paper investigates the diffusion, attachment, and nucleation of the atoms on surface, as well as the interaction, aggregation, instability, and decay of the formed islands in submonolayer growth. At first, we study various theoretical methods, such as ab-initio calculations, molecular dynamics, kinetic Monte Carlo simulation, rate equation theory, and transition state theory (TST). In the Part I, fro... |
|
【基金】 |
国家重点基础研究 973计划 (G2 0 0 0 0 671 0 3);
国家高技术 863计划 (2 0 0 2AA31 1 1 51 );
国家基金委“创新研究群体”(60 0 2 1 4 0 3);
国家基金委面上项目 (1 99740 69);
国家基金委重点项目(1 0 1 340 30 ) |
|
【分类号】 |
O484.1 |
|
【正文快照】 |
0 引 言随着现代微电子及光电子工业向着集成化和微型化发展的趋势 ,探索满足特殊需求的材料和器件结构并研究其制备过程、控制条件以及相关的特异量子效应 ,已经成为当今众多学科交叉研究的热点之一。特别是为了满足市场需求 ,器件的尺寸将越做越小。 40年代的真空器件尺寸? |
|
| 【相似文献】 |
 |
中国期刊全文数据库 |
 |
|
|
中国优秀硕士学位论文全文数据库 |
|
|
|
中国博士学位论文全文数据库 |
|
|
|
中国重要会议论文全文数据库 |
|
|
|
中国重要报纸全文数据库 |
|
|
|
中国学术期刊网络出版总库 |
|
|
|
|
点击下列相关研究机构和相关文献作者，可以直接查到这些机构和作者被《中国知识资源总库》收录的其它文献，使您全面了解该机构和该作者的研究动态和历史。
|
|
【文献分类导航】从导航的最底层可以看到与本文研究领域相同的文献，从上层导航可以浏览更多相关领域的文献。
|
|
|
| 
推荐 
