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MEMS技术检测痕量爆炸物微粒的原理与实验方法研究  
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【英文篇名】 Research on principle and experiments of trace explosive particle detection with MEMS
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【作者】 张彦; 梅涛; 孔德义; 张成梅; 付国强; 胡圣军;
【英文作者】 ZHANG Yan; MEI Tao; KONG De-yi; ZHANG Cheng-mei; FU Guo-qiang; HU Sheng-jun; (Institute of Intelligent Machines; Chinese Academy of Sciences; Hefei 230031; China);
【作者单位】 中国科学院合肥智能机械研究所; 中国科学院合肥智能机械研究所 安徽 合肥; 安徽 合肥;
【文献出处】 微纳电子技术 , Micronanoelectronic Technology, 编辑部邮箱 2003年 03期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 MEMS技术; 爆炸物微粒; 微梁;
【英文关键词】 MEMS technology; explosive particle; micro cantilever;
【摘要】 提出一种基于MEMS技术、利用爆炸物微粒本身特性来检测爆炸物的新型微梁式爆炸物探测器,这种探测器利用不同爆炸物具有不同的熔点及蒸发点,并且在熔解过程中吸收热量的原理,使落在悬臂梁上的痕量爆炸物微粒在蒸发时的热量变化可以通过梁的弯曲变形反映出来,其中复合双金属悬臂梁是利用MEMS工艺制造的;还介绍了探测器的结构设计、悬臂梁弯曲变形的理论计算及技术实现方案探讨等前沿探索性研究工作。
【英文摘要】 A new micro cantilever explosive particle detector based on MEMS is presented in this paper, which utilizes the properties of explosive particles. The principle of the detector is described firstly: every explosive has different liquated and evaporation points, when explosive particles on the micro cantilever liquate and absorb heat from the cantilever, the cantilever will bend because of temperature change. At last, some exploratory researches such as structure design, theoretical calculate and technical p...
【基金】 863 MEMS重大专项资助(2002AA404320)
【分类号】 TP274.4
【正文快照】 1 引 言 在机场、码头、车站等地检查爆炸性物品是一件任务繁重、代价高昂的工作,由于地点的特殊性,这些地方通常具有人员较多、人群流动较快、背景复杂、随身物品较多等特点,因此对违禁品的探测成为这些地点的工作重点之一。而恐怖活动的不断加剧又迫使个人、组织和政府必须更

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