电容式微机械加速度计部分力学特性的分析-中国学术期刊网络出版总库

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电容式微机械加速度计部分力学特性的分析

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【英文篇名】	The analysis of some mechanical characteristics on capacitive micro-accelerometer
【下载频次】	★★★★
【作者】	傅德生; 苏伟; 彭勃;
【英文作者】	FU De-sheng; SU Wei; PENG Bo (Institute of Fluid Physics; China Acadeny of Engineering Physics; Mianyang 621900; China);
【作者单位】	中国工程物理研究院流体物理研究所; 中国工程物理研究院流体物理研究所四川绵阳　621900; 四川绵阳　621900; 四川绵阳;
【文献出处】	安徽工程科技学院学报(自然科学版) , Journal of Anhui University of Technology and Science, 编辑部邮箱 2003年 04期期刊荣誉：ASPT来源刊 CJFD收录刊
【中文关键词】	加速度计; 挠度; 应力; 差动电容;
【英文关键词】	accelerometer; deflection; stress; differential capacitive;
【摘要】	推导了电容式微机械加速度计的悬臂梁在加速度作用下可能出现的两种挠度情况,分析了在制造过程中残余应力对于加速度计造成的影响,推导了电容式微加速度计的工作原理,并推荐了相应的工作模式.
【英文摘要】	Two cases of deflection of the beam of the micro-accelerometer occurred under a certain acceleration were deduced in the paper. And the effect of the residual stress to accelerometer during fabrication was analyzed. The working principle of the capacitive micro-accelerometer was deduced. And the related operating mode was recommended also.
【分类号】	TH824.3
【正文快照】	引　　言加速度计是一种重要的惯性敏感元件,在航空、航天、航海、军事及民用等领域都有着极其广泛的应用.近十余年来,电容式微机械加速度计以其独有的优势而成为了研究热点,发展迅速.我国在这方面也开展了相应工作,并取得了一些成绩.本文将以芯片为三明治结构的电容式加速度计

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