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微电子机械系统(MEMS)发展展望  
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【作者】 李志坚;
【作者单位】 清华大学;
【文献出处】 电子科技导报 , , 编辑部邮箱 1997年 01期  
期刊荣誉:CJFD收录刊
【中文关键词】 MEMS; 微机械加工; 应用; 科学; 技术;
【摘要】 本文对MEMS技术的发展概况进行介绍,对涉及的科学技术问题进行讨论,并扼要论述其重要意义
【分类号】 TP36
【正文快照】 微电子机械系统(MEMS)发展展望李志坚(清华大学)[摘要]本文对MEMS技术的发展概况进行介绍,对涉及的科学技术问题进行讨论,并扼要论述其重要意义。关键词:MEMS微机械加工应用科学技术1引言MEMS一词由MicroElectroMechanicalS?

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