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微电子机械系统(MEMS)发展展望
 
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【下载频次】
★★★★★
【作者】
李志坚
;
【作者单位】
清华大学
;
【文献出处】
电子科技导报
,
,
编辑部邮箱
1997年 01期
期刊荣誉:CJFD收录刊
【中文关键词】
MEMS
;
微机械加工
;
应用
;
科学
;
技术
;
【摘要】
本文对MEMS技术的发展概况进行介绍,对涉及的科学技术问题进行讨论,并扼要论述其重要意义
【分类号】
TP36
【正文快照】
微电子机械系统(MEMS)发展展望李志坚(清华大学)[摘要]本文对MEMS技术的发展概况进行介绍,对涉及的科学技术问题进行讨论,并扼要论述其重要意义。关键词:MEMS微机械加工应用科学技术1引言MEMS一词由MicroElectroMechanicalS?
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