变频法纳米级润滑膜厚度测量研究-中国学术期刊网络出版总库

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变频法纳米级润滑膜厚度测量研究

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【英文篇名】	Study on the Nanometer Film Thickness Measurement by Changing Light Wave Length
【下载频次】	★★★★
【作者】	雒建斌; 黄平; 邹茜; 温诗铸;
【英文作者】	Luo Jianbin Huang Ping Zou Qian Wen Shizhu( National Tribology Laboratory );
【作者单位】	清华大学摩擦学国家重点实验室;
【文献出处】	润滑与密封 , Lubrication Engineering, 编辑部邮箱 1994年 01期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊
【中文关键词】	光干涉; 单色仪; 纳米膜厚测量;
【英文关键词】	interference; Nonochromic; nanometer film thickness measurement;
【摘要】	采用平垫层与单色仪分频相结合的方法,得到了不同波长干涉图像。经过图像处理,使按此原理设计的NGY—1型膜厚测量仪实现了纳米量级的膜厚测量。并对测量仪进行了精度分析和实际测试。
【英文摘要】	In this paper oil film thickness are measured from the interference fringe maps with different light wave length by using a flat layer which can replace oil film and a monochromator which can put the light into monochromic one. A measuring instrument, NGY-1, was designed to measure sub-micrometer and nanometer film. Then the precision of the instrument was analysed.
【分类号】	TH117.2
【正文快照】	近年来,随着M-N技术的迅速发展,纳米级膜厚测量技术引起重视。在许多高副接触中,特别是在低速,重载,高温和低粘度润滑介质情况下,膜厚常处于0.1卜m以下。而关于该阶段摩擦、润滑特性的研究,由于缺乏测试手段而未得到充分研究。另外,关于其与弹流润滑以及边界润滑之间关系也未能

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