【英文题名】
Preparation of Aluminum Doped Zinc Oxide Transparent Conductive Films by Liquid Method and the Study on Optical and Electrical Property
【作者】
赵金博 ;
【导师】
刘久荣 ;
【学位授予单位】
山东大学 ;
【学科专业名称】
材料学
【学位年度】
2011
【论文级别】
博士
【网络出版投稿人】
山东大学
【网络出版投稿时间】
2012-04-05
【关键词】
ZnO薄膜 ;
溶胶-凝胶法 ;
水热法 ;
Al离子掺杂 ;
透明导电薄膜 ;
【英文关键词】
ZnO thin film ;
sol-gel method ;
hydrothermal method ;
Al doped ;
transparent conductive thin film ;
【中文摘要】
透明导电氧化物薄膜具有禁带宽、可见光范围内透过率高和电阻率低等优点,在液晶显示器、太阳能电池、触摸屏面板以及光电器件等领域得到广泛应用。目前,常用的是锡掺杂氧化铟透明导电薄膜,但是铟为稀缺资源。因此探索和研究其它性能优良的透明导电薄膜材料成为研究的热点之一。
ZnO是一种Ⅱ-Ⅵ族直接宽带隙半导体材料,纳米量级的氧化锌具有纳米材料和优异半导体材料性能,在液晶显示器保护膜、太阳能光伏电池、保护层、光电传感器、气敏器件、光谱发射和光催化等方面有表现出潜在应用价值。由于氧化锌不具有毒性,且原料丰富制备成本较低,近几年成为透明导电薄膜研究的热门材料。其中,Al离子掺杂的ZnO (ZAO)薄膜具有良好的光学和电学性能,热稳定性好,受到研究者广泛关注。
制备薄膜的方法有多种,常用的有溶胶—凝胶法、激光脉冲沉积法、水热法、化学气相沉积法和磁控溅射法等。其中基于溶液的溶胶-凝胶法、水热法的薄膜制备方法,具有操作简单、不需要贵重仪器、价格低廉的优点,但所制备的薄膜电学性能较差,制备过程有待改进。本文选用Al离子掺杂ZnO透明导电薄膜为研究对象,采用溶胶—凝胶法和水热法,控制溶胶浓度、Al离子掺杂浓度、预处理温度、...
【英文摘要】
Transparent conductive oxide films (TCOs) with a band gap, high optical transparent in visible range and low resistivity have been widely used in flat panel displays, solar cells, touch screen panels and optoelectronic devices. As a candidate material, indium tin oxide has been widely investigated, but indium is a scarce resource. Thus, other transparent conductive films with low cost and excellent performance have been attracting research attention.
ZnO energy gap is 3.37eV at room temperature which is...
【更新日期】
2012-06-13
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