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硅烷类自组装复合层的制备及摩擦学性能研究     在线阅读　整本下载　分章下载　分页下载 本系统暂不支持迅雷或FlashGet等下载工具
【英文题名】 Preparation and Tribological Properties of Silane Self-Assembled Composite Lays
【作者】 徐磊华;
【导师】 江利;
【学位授予单位】 中国矿业大学;
【学科专业名称】 矿物材料工程
【学位年度】 2011
【论文级别】 博士
【网络出版投稿人】 中国矿业大学
【网络出版投稿时间】 2012-03-07
【基金】 国家 973;
【关键词】 自组装; 巯基硅烷; Au纳米粒子; 纳米复合膜; 摩擦性能;
【英文关键词】 SAM; Au nanopariticle; silane; nanocomposite film; tribological properties;
【中文摘要】 在科学技术高速发展的时代,许多电子机械器件逐渐向微型化、多功能集成化、质量轻、智能化的方向发展,促使微电子机械系统(mircroelectromechanical system, MEMS)和纳电子机械系统(Nanoelectromechanical system, NEMS)的出现,并且受到各方的广泛关注。微电子机械系统尺寸微型化后,器件之间的间隙非常小,通常处于纳米级范围内,相对滑移表面之间的摩擦及磨损行为对微电子机械系统的稳定性和可靠性产生很大的影响。降低器件表面的粘附力,减小摩擦,改善抗磨损性能是确保微电子机械系统高速稳定运转的关键问题。材料表面改性被认为是解决这一关键问题的有效途径,其中近二三十年发展起来的分子自组装技术为解决这一难题提供了新的思路 目前,由于单晶硅在MEMS中普遍应用,有机硅烷在单晶硅基片上的自组装膜的摩擦磨损性能研究得到广泛关注。研究结果表明:有机硅烷自组装膜能够有效降低单晶硅表面的粘附力,起到减摩降磨的效果,但其抗磨损性能不尽如人意。为此,我们将自润滑性能良好的无机纳米粒子组装到具有活性官能团的有机分子自组装膜表面,形成有机-无机复合自组装膜,以期提高自组装膜的抗磨损性...
【英文摘要】 As the rapid development of science and technology, many electronic component are gradually microminiaturizing, multifunction integrating, intelligentizing and having ligter weight. These development precipitate emerge of micro/nanoelectro mechanical systems(MEMs/NEMs). As the dimension of the systems decrease sharply, the interfacial clearance between the components are always a few of nanometers. Therefore tribological limitations such as stiction, friction and wear are the major problems that limited the...
【更新日期】 2012-03-22

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