【英文题名】
Study on the New Test Method for Sheet Resistance
【作者】
汪鹏 ;
【导师】
孙以材 ;
【学位授予单位】
河北工业大学 ;
【学科专业名称】
微电子学与固体电子学
【学位年度】
2011
【论文级别】
博士
【网络出版投稿人】
河北工业大学
【网络出版投稿时间】
2012-02-06
【关键词】
薄层电阻 ;
四探针测试技术 ;
电阻抗成像 ;
BP神经网络 ;
粒子群算法 ;
【英文关键词】
sheet resistance ;
four-point measurement technique ;
electrical impedance tomography ;
BP neual network ;
particle swarm optimization algorithm ;
【中文摘要】
随着科学技术及半导体产业的飞速发展,以单晶硅为衬底的集成电路集成度越来越高。硅片材料的直径越来越大,同时图形不断微细化,电路尺寸日益缩小,这些都对晶体材料的电学特性、机械特性等提出了更为严格的要求。电子器件的很多参数与电阻率及其分布的均匀性有密切的关系,因此器件电阻率的测试成为芯片加工中的重要工序。硅片薄层电阻率的测量引起了人们广泛的关注,目前四探针测量技术已得到广泛应用,但对于大片电阻率的测量,四探针法机械运动误差大、测量速度慢、使用效果不佳。在这样的背景下,本文将EIT技术应用于半导体薄层电阻率测量中,采用神经网络实现电阻率分布图像重建。
电阻抗成像(EIT,Electrical Impedance Tomography)是近年来发展起来的一种新的图像重建技术。它通过在被测物体四周安放电极阵列并注入电流,测量物体四周电极上的电压,利用成像算法得到电阻率的分布图像。EIT具有非侵入、无创伤、廉价等特点,目前已成为生物医学工程、地质勘探等领域的研究热点之一。常见的EIT图像重建算法如反投影重建算法和静态牛顿算法存在运算量大、成像速度慢、成像精度差等缺点,本文拟将神经网络技术应用于EIT的图像重建算法。...
【英文摘要】
With the high speed development of science and semiconductor industry,the integrate level of IC ,as the basic component ,becomes increasingly integrated.The constantly growing of silicon wafer radius,the minuter of graphics and the shrinking of circuits dimension, make stringent requirements for the machine intensity and the electronic character of the crystal.The measurement of sheet risistance becomes an important process through the IC’s making.Now,the measurement of sheet risistance attract extensive at...
【更新日期】
2012-03-15
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