【英文题名】
Research on Electrical Discharged Machining of Semiconductor Crystal Materials
【作者】
邱明波 ;
【导师】
黄因慧 ;
【学位授予单位】
南京航空航天大学 ;
【学科专业名称】
机械制造及其自动化
【学位年度】
2010
【论文级别】
博士
【网络出版投稿人】
南京航空航天大学
【网络出版投稿时间】
2011-10-21
【基金】
国家自然科学;
【关键词】
半导体晶体 ;
DR模型 ;
放电加工 ;
进电特性 ;
体电阻 ;
蚀除机理 ;
【英文关键词】
Semiconductor crystal ;
DR circuit model ;
electrical discharge machining ;
electrical conduction property ;
body resistance ;
erosion mechanism ;
【中文摘要】
半导体晶体具有许多独特的光、热、电、磁等性质,已成为尖端科学技术中应用最为活跃的先进材料之一,在工业制造、国防工业、航空航天等领域中具有十分重要的作用。但是,它的可加工性极差,脆性高、断裂韧度低,机械加工过程中易发生整体断裂,很难加工具有复杂曲线、复杂型面的零件,精度无法保证,成本高,效率低。放电加工是利用电能去除材料,可以加工任何硬度、强度、韧性、脆性的导电材料。常用的半导体材料,其电阻率比金属高出3～4个数量级,且具有十分特殊的电特性。基于导电材料建立起的常规放电加工,其相关机理与规律已经完全不能适用,对于半导体的放电加工,必须建立一种全新的理论体系。为此,本文针对半导体的特殊导电性,建立了相关的放电模型,深入地研究了进电端特性、体电阻以及蚀除机理等几个关键问题,完成了以下几个方面的工作:
(1)建立了半导体晶体放电加工系统。研制了专用脉冲电源、特殊进电系统以及三维放电实验平台,以进行半导体放电加工机理的研究分析。改进了现有的电火花线切割机床、工作液循环系统,以实现硅、锗等半导体晶体的放电切割加工。
(2)总结了本征半导体、杂质半导体以及肖特基结的基本特性,分析了电阻和二极管串联、并联的伏...
【英文摘要】
Because of its special characteristics of light, heat, electricity and magnetism, semiconductor become one of the most active advanced materials in the cutting-edge science and technology, and played an important role in the field of industrial manufacturing, defense industry, aviation, aerospace, and so on. However, its poor machinability, high brittleness, low fracture toughness, being prone to the overall fracture in processing, being difficult to process parts with complex curves and face, being hard to...
【更新日期】
2011-11-08
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