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纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究     在线阅读 整本下载 分章下载 分页下载 本系统暂不支持迅雷或FlashGet等下载工具
【英文题名】 Research on Key Technologies of Micromachine for Electrochemical Micromachining (ECMM) with Nanosecond Pulse Voltage
【作者】 罗红平;
【导师】 张璧; 周志雄;
【学位授予单位】 湖南大学;
【学科专业名称】 机械工程
【学位年度】 2009
【论文级别】 博士
【网络出版投稿人】 湖南大学
【网络出版投稿时间】 2011-03-24
【关键词】 微细加工; 电化学微加工; 超短脉冲; 柔性回转轴承; 主轴系统; 微型化; 回转精度; 电火花线切割;
【英文关键词】 Micro machining; Electrochemical micromachining; Ultrashort pulses; Rotary flexural bearing; Spindle system; Miniaturization; Rotational accuracy; Wire EDM;
【中文摘要】 电化学微加工技术(Electrochemical Micromachining,ECMM)由于具有加工单位小(0.1nm以下)、无宏观加工作用力、加工的表面质量好(无残余应力、表面变质层和热影响层)、工具无损耗、可实现多样化的工艺、具备三维加工的能力等众多突出优点而成为微细制造领域当中很有发展前途的热点研究课题。为了实现电化学微加工,需要采取有效措施克服传统电解加工所特有的杂散腐蚀现象,增强电化学反应的定域性;同时还要使加工系统的运动部件具有很高的运动精度,以满足微加工的要求。鉴于超短脉宽脉冲电源在保证加工精度和稳定性方面的特殊作用,本文以设计一套实现纳秒脉宽脉冲电化学微加工的机床为主要目标,对该机床的关键技术开展了相关研究。 从电化学的基本原理出发,概括总结了纳秒脉宽脉冲电化学微加工的基本理论,阐释了纳秒脉宽脉冲电化学微加工能够实现微米/亚微米级精度加工的根本原因,建立了描述电化学微加工成形规律的理论模型,对其进行了数值仿真;实际构建了电化学微加工机床系统,介绍了电化学微加工机床的运动平台、加工电源、电解液槽、显微观测等各部分的硬件组成,控制系统硬件,控制流程及控制软件设计等方面的具体内容;针对纳秒...
【英文摘要】 Electrochemical micromachining (ECMM) is a promising micromachining technology, since it offers several advantages which include absence of machining forces and residual stresses, no tool wear, good surface finish, adaptability to various processes, and ability to machine complex 3D micro features with the material removal/addition unit at the atomic scale (0.1nm or even smaller). To realize ECMM, the foremost thing is to prevent the stray erosion caused by the distributing electric field in the convent...
【更新日期】 2011-05-05

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