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金属硒化物薄膜的电沉积制备及基础理论研究     在线阅读 整本下载 分章下载 分页下载 本系统暂不支持迅雷或FlashGet等下载工具
【英文题名】 Technology and Fundamentals for Electrodeposition of Metal Selenide Thin Films
【作者】 刘芳洋;
【导师】 刘业翔; 赖延清;
【学位授予单位】 中南大学;
【学科专业名称】 有色金属冶金
【学位年度】 2011
【论文级别】 博士
【网络出版投稿人】 中南大学
【网络出版投稿时间】 2011-10-17
【关键词】 电沉积; 金属硒化物; 热力学; 动力学; 沉积机理;
【英文关键词】 Electrodeposition; Metal Selenides; Thermodynamics; Dynamics; Deposition Mechanism;
【中文摘要】 金属硒化物薄膜是一类非常重要的半导体材料,在太阳电池等领域具有广泛的应用前景,已引起学术和产业界的高度重视。金属硒化物薄膜的有效沉积是其得到应用的基础。在各种沉积方法中,电沉积法具有非真空、低成本和高沉积速率等特点,适合大面积和连续化制备多组元和性能可控的高性能薄膜。 本文研究金属硒化物薄膜的电沉积制备工艺及基础理论。首先通过电势-pH图的绘制和分析,揭示金属硒化物电沉积的热力学基本特征;然后针对金属硒化物电沉积时Se优先沉积的特点,采用循环伏安法(CV)和计时安培法(CA)等研究Se电沉积的电化学行为;在此基础上对CoSe、Sb2Se3和Cu(In,Ga)Se2这三种金属硒化物的电沉积工艺、机理及材料性能进行系统研究;最后通过对电沉积过程进行合理假设,建立了具有普遍意义、可实现薄膜成分预测的金属硒化物电沉积动力学模型,并将其应用于Sb2Se3和CuInSe2电沉积研究。论文所得创新性结果如下: (1)阐释了金属硒化物薄膜电沉积的热力学普遍规律。所绘制的金属-硒-水系电势-pH原则图形和若干典型金属-硒-水系的电势-pH图,可用于金属硒化物电沉积的可行性分析以及热力学沉积条件的确定;金属硒化物...
【英文摘要】 Metal selenide thin films are one of the most important semiconductor materials, which have extensive applications in many fields such as solar cells and sensors, and attracted special attention from academic to industrial community. Deposition of metal selenide thin films is the premise of these applications. Among various deposition technologies, electrodeposition is a non-vacuum, low cost and high deposition rate process, that is suitable for large area, continuous preparation of thin films with multicom...
【更新日期】 2011-11-23

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