电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,简写为ECR)等离子体源由于具有高密度、高电离度、低运行气压、大体积、均匀、无电极污染、设备简单、参数易于控制、可产生高密度高电荷态离子束等优点而十分引人注目,它被广泛地应用于微电子工业、原子物理、核物理、高能物理与工业应用中。由于ECR等离子体源的广泛应用,对其需求与日剧增,因此对ECR放电及其生成等离子体源特性的研究有着非常重要的意义。本论文围绕ECR放电的理论分析与计算机模拟展开研究工作,主要工作和创新之处在于:
(1)对ECR放电及ECR等离子体源的理论、计算机模拟方法进行了综述
对ECR放电及ECR等离子体的理论、计算机模拟方法进行了综述、总结与对比。特别指出了模拟ECR放电电离过程的重要意义以及粒子模拟与蒙特卡罗相结合(particle-in-cell plus Monte Carlo Collision,简写为PIC/MCC)方法在模拟研究ECR放电及ECR等离子体特性中的优势。
(2)ECR放电电离过程准三维理论分析
以通常的ECR放电系统为基础,建立了物理模型,对ECR放电进行了...
【英文摘要】
Electron cyclotron resonance (ECR) microwave discharge plasma devices have received a great deal of attention as sources for micro-electronic fabrications, accelerators, atomic physics experiments, and industrial applications et al, due to their high reactive species density, high degree of ionization, low neutral pressure, big volume, uniform, electrodeless operation, and controllable. And the theoretical and computational simulation has been the important method to investigate the characteristics of...
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