【英文题名】
The Investigation on the Electrochemical Micromachining (ECMM) with Nanosecond-Pulse Current
【作者】
张朝阳 ;
【导师】
朱荻 ;
【学位授予单位】
南京航空航天大学 ;
【学科专业名称】
机械制造及其自动化
【学位年度】
2006
【论文级别】
博士
【网络出版投稿人】
南京航空航天大学
【网络出版投稿时间】
2007-11-19
【基金】
航空科学基金
【关键词】
微细电解加工 ;
纳秒脉冲电源 ;
电极暂态过程 ;
加工系统 ;
工具电极 ;
定域性 ;
【英文关键词】
Micro-ECM ;
nanosecond pulses power supply ;
transient process of electrode ;
machining system ;
tool cathode ;
localization of electrochemical ;
【中文摘要】
随着21世纪的科技发展,高新技术产品日趋向功能集成化、超精密化和外形小型化方向发展。面向精密微机电器件的微细加工技术已经成为各国科研机构的研究热点。它决定了机械产品的加工精度和表面质量,正在成为衡量一个国家制造业整体水平的重要标志之一。电解加工(Electrochemical machining,ECM)利用金属在电解液中发生阳极溶解的原理,将工件材料以离子形式去除,这种加工方式使其在微细制造领域有着很大的发展潜能,而且具有加工表面质量好、无工具损耗、无接触应力、与零件材料硬度无关等优点。
发展微细电解加工技术,必须解决分布电场产生的杂散腐蚀问题,增强电化学反应的定域性,保证加工的稳定性,才能显著提高加工精度,使其满足微细加工的要求。本文针对纳秒脉冲的微细电化学加工技术展开研究,分析了加工的机理,通过试验解决了加工工艺方面的主要技术问题。
本文以实现微细结构的电化学加工为主要目的,主要进行了以下的研究工作:
1.根据电极反应各阶段的变化,提出了利用电极暂态过程研究纳秒脉冲微细电化学加工机理的方法。在纳秒脉冲条件下,电极反应始终处于暂态过程中,电...
【英文摘要】
With the development of science and technology of 21th century, function integration, ultra-precision and miniaturization have become the direction of high technological produces. Micromachining technology applied in microelectromechanical system (MEMS) has gained the great attention in academe, industrial field and governments. It is considered as one of the important marks of national manufacture level, which determines the machining accuracy and surface quality of mechanical produces. Electroch...
【更新日期】
2007-12-13
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