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硅谐振微传感器中微弱信号频率的外差式随机共振检测  
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【英文篇名】 The Weak Signal Frequency in Silicon Resonance Microsensor Measurement Based on Heterodyne Stochastic Resonance Method
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【作者】 黄咏梅; 林敏;
【英文作者】 HUANG Yong-mei; LIN Min (College of Metrology Technology and Engineering; China Jiliang University; Hangzhou 310018; China);
【作者单位】 中国计量学院计量技术工程学院; 中国计量学院计量技术工程学院 杭州;
【文献出处】 传感技术学报 , Chinese Journal of Sensors and Actuators, 编辑部邮箱 2006年 05期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 MEMS; 硅谐振微传感器; 微弱信号; 外差式; 随机共振;
【英文关键词】 MEMS; silicon resonance microsensor; weak signal; heterodyne; stochastic resonance;
【摘要】 硅谐振微传感器输出信号的信噪比很低,频率信号往往淹没在噪声之中.论文分析了随机共振系统的功率谱放大率和信噪比特性,提出了外差式随机共振频率检测方法,并将该方法应用于硅谐振微传感器输出信号的频率检测.理论分析和数值仿真结果表明,外差式随机共振能将更多的噪声能量转变为频率信号的能量,通过调节载波信号频率可从共振谱峰的变化中准确测定谐振频率.该方法是可行、有效的.
【英文摘要】 The SNR of silicon resonance microsensor output signal is low. The frequency of signal is always submerged in noise. The SPA and SNR of stochastic resonators system are analyzed. A signal frequency measurement method based on heterodyne stochastic resonance is proposed to detect silicon resonance microsensor output signal frequency. The results of theoretical analysis and numerical simulation manifest that the energy of noise can be transferred to signal frequency through the heterodyne stochastic resonance...
【基金】 浙江省自然科学基金资助项目(Y104338)
【更新日期】 2006-12-12
【分类号】 TP212
【正文快照】 谐振原理作为传统的传感器中常用的敏感调制方式,可以将被测物理量直接转换为振动频率信号,而频率信号具有很高的抗干扰能力和稳定性,并且在传输过程中不容易产生失真误差,信号处理时也不需要经过A/D转换,从而可使处理电路简化[1].随着微机电系统(MEMS)工艺技术的发展,人们已经

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