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磁控溅射制备ZnS基透明导电薄膜及其光电性能研究  
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【英文题名】 Research on Optoelectrical Properties of ZnS-based Transparent Conductive Films Deposited by Magnetron Sputtering
【作者】 王梦慧;
【导师】 李子全; 刘劲松;
【学位授予单位】 南京航空航天大学;
【学科专业名称】 材料学
【学位年度】 2015
【论文级别】 硕士
【网络出版投稿人】 南京航空航天大学
【网络出版投稿时间】 2015-07-31
【关键词】 ZnS基透明导电薄膜; 磁控溅射; 退火; ZnS/Cu多层薄膜; ZnS:Cu薄膜; 光电性能;
【英文关键词】 ZnS-based transparent conductive film; Magnetron sputtering; Annealing; ZnS/Cu multilayer; ZnS: Cu film; Optoelectrical properties;
【中文摘要】 具有低电阻率及高透光率的Zn S基透明导电薄膜,在液晶显示器,太阳能电池和有机发光器件等领域具有广阔的应用前景。针对目前市场上应用的透明导电薄膜成本高和光电性能低的问题,本论文以Zn S基透明导电薄膜为研究对象,以制备具备宽波长范围透明、高光透过率和低电阻的高综合性能新型透明导电薄膜为目标,采用磁控溅射仪交替溅射制备Zn S/Cu多层复合薄膜和共溅射制备Cu掺杂Zn S薄膜(Zn S:Cu),利用XRD、AFM、SEM、UV-Vis和四探针仪等多种现代分析测试手段,研究Zn S层厚度、Cu层厚度和层数对Zn S/Cu多层复合薄膜微观结构及光电性能影响,进一步研究退火温度对Zn S/Cu三层、五层以及Zn S:Cu薄膜结晶性能、表面组织形貌以及光电学性能影响。薄膜微观结构、电子浓度和各层厚度引起的光干涉效应共同影响Zn S/Cu多层复合薄膜的综合性能。中间层Cu薄膜按岛状方式生长,当Cu层为16nm和Zn S层均为42nm时,Zn S/Cu/Zn S复合薄膜在可见光波段的最高透光率达87%,方块电阻为62.5?/sq,品质因子最大为3.76×10-3?-1。增加薄膜沉积层数至五层时,薄膜的透射峰向长波移动,近红...
【英文摘要】 Zn S-based transparent conductive film with a low resistance and high optical transimittance has been widely used in solar cells, liquid crystal, organic light emittance diode, etc. Recently, the transparent conductive thin film applied in the market has high-cost and low optoelectrical property. Therefore, aiming at transparent conductive thin film with large wavelength, high transmittance and low resistance, Zn S/Cu multilayer and Zn S: Cu films were fabricated on glass by alternating sputtering and co-sp...
【更新日期】 2016-11-25

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