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SnO_2:Sb/SiO_2复合薄膜的制备与性能研究  
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【英文题名】 Preparation and Properties of SnO_2:Sb/SiO_2Composite Film
【作者】 王贺;
【导师】 魏长平;
【学位授予单位】 长春理工大学;
【学科专业名称】 无机化学
【学位年度】 2012
【论文级别】 硕士
【网络出版投稿人】 长春理工大学
【网络出版投稿时间】 2012-12-04
【关键词】 溶胶-凝胶; SiO_2; SnO_2:Sb; 复合薄膜; 透过率;
【英文关键词】 sol-Gel; SiO_2; SnO_2:Sb; Composite film; Transmittance;
【中文摘要】 本文以TEOS、SnCl2·2H2O和SbCl3为原料,采用溶胶-凝胶结合旋转涂膜技术在玻璃基底上制备出SiO2增透膜、SnO2:Sb (ATO)透明导电薄膜以及SnO2:Sb/SiO2复合薄膜,利用TG-DSC、XRD、FTIR、SEM、四探针电阻仪、分光光度计、椭偏仪等技术对薄膜样品进行了表征。 结果表明,所制备的SiO2薄膜具有较大的孔隙率(p=27%)和较低的折射率(n=1.352),在玻璃基底上镀一层SiO2膜后,峰值透过率由90%提高到95%,达到了较好的增透效果,进一步提高了可见光利用率。所制备的SnO2:Sb薄膜具有较高的折射率(n=1.91)和良好的导电性,方块电阻最低为105Ω/□,能够降低红外辐射,在玻璃上镀SnO2:Sb膜后,近红外波段透过率下降显著,由90%降到5.5%。优化工艺条件下制备的SnO2:Sb/SiO2复合薄膜的性能优于SnO2:Sb薄膜,在相同情况下SnO2:Sb/SiO2复合薄膜对可见光的透过率大于SnO2:Sb薄膜,这是因为上层SiO2薄膜折射率较低,与底层高折射率SnO2:Sb薄膜共同构成减反射膜系,提高了膜系的可见光透过率。相比于单层SnO2:Sb膜,在...
【英文摘要】 In this dissertation, SiO2antireflective films, SnO2:Sb (ATO) transparent conductive films and SnO2:Sb/SiO2composite films were coated onto glass substrates by sol-gel method. The raw materials are TEOS, SnCl2·2H2O and SbCl3. The samples were characterized by TG-DSC, XRD, FTIR, SEM, Four point probe, Spectrophotometer and Ellipsometer. The results showed that the SiO2films exhibit higher porosity (p=27%), lower refractive index (n=1.352) and better antireflective effect. The transmittance of the glass s...
【更新日期】 2013-01-21

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导师:魏长平    导师单位:长春理工大学    学位授予单位:长春理工大学
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