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磁控溅射法制备YBCO原子层热电堆薄膜研究  
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【英文题名】 The Study of the YBCO Atomic Layer Thermoelectric Which is Processed by Current Sputtering
【作者】 王道云;
【导师】 赵元黎;
【学位授予单位】 郑州大学;
【学科专业名称】 光学工程
【学位年度】 2011
【论文级别】 硕士
【网络出版投稿人】 郑州大学
【网络出版投稿时间】 2011-11-18
【关键词】 原子层热电堆; 激光感生热电电压(LITV); YBCO; 直流磁控溅射;
【英文关键词】 Atomic layer thermoelectric; Laser Induced Thermoelectric Voltage (LITV); YBCO; direct current sputtering;
【中文摘要】 YBCO外延地生长在倾斜的SrTiO3衬底上时,YBCO薄膜表面法向与YBCO的c轴成α角,若有激光光沿z轴方向入射YBCO表面时,z轴有激光感生热电电压产生。这种热电材料称为原子层热电材料。这种激光感生热电电压器件(LITV)具有响应快(纳秒到皮秒)、响应光谱宽(光谱范围从紫外到红外)、灵敏度高、非制冷探测、高稳定性、易集成、成本低廉的特点,有很广阔的应用前景。本文就YBCO的制备、薄膜的生长条件、不同条件对薄膜的影响,以及YBCO原子层热电堆进行了研究： 1、采用固相法制备YBCO,对不同的烧结温度进行了研究。分别对890℃、900℃、910℃、920℃、930℃温度下制备的YBCO经XRD分析发现,920℃温度下制备的YBCO杂相少,质量最好。 2、采用直流磁控溅射法制备了YBCO薄膜,研究了YBCO薄膜生长过程中不同条件对薄膜生长的影响,包括不同总气压、氧氩比、厚度和退火温度,通过XRD分析,当总气压为40Pa、氧氩比为1：2、厚度为1μm、退火温度为800℃时,是薄膜生长的最佳条件。 3、以总气压为40Pa、氧氩比为1：2、厚度为1μm、退火温度为800℃为实验条件,在倾斜角...
【英文摘要】 When the YBCO growing on the SrTiO3 substrate tilt extensionally, it will make aα-Angle between the surface nonnals of YBCO film and the c axis of YBCO. If the laser light incidence the surface of the YBCO along the z axis, the z axis with a laser induced thermoelectric voltage produce. The thermoelectric material is called atom layer thermoelectric materials. This laser induced thermoelectric voltage (LITV) devices has a fast response (from ns to ps), response spectrum broad (spectral range from uv to infr...
【更新日期】 2012-01-04

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