【英文题名】
Study on the Dependence of Electrical Properties and the Response to X-ray on Processes of Diamond Films
【作者】
张进 ;
【导师】
冉均国 ;
【学位授予单位】
四川大学 ;
【学科专业名称】
生物医学工程
【学位年度】
2005
【论文级别】
硕士
【网络出版投稿人】
四川大学
【网络出版投稿时间】
2005-10-17
【关键词】
金刚石薄膜 ;
辐射剂量计 ;
电阻率 ;
X光响应性 ;
【英文关键词】
diamond thin film ;
radiation dosimeter ;
resistivity ;
response to X-ray ;
【中文摘要】
随着CVD金刚石质量及电学品质不断提高,高性能CVD金刚石电子器件的研制已成为该领域的热点研究课题之一。金刚石辐射探测器具有信噪比高、结构简单、可以在极端恶劣环境中正常工作等优点,而且金刚石的原子序数与人体软组织的原子序数非常接近,加之金刚石无毒,与组织液不会发生化学反应,是理想的生物活体内置辐射剂量探测材料。然而多晶金刚石薄膜的纯度和取向性对其电学、辐射响应性能有很大的影响,因此本文采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)装置,较全面研究了高纯、高[100]取向金刚石薄膜的制备工艺与电学和辐射响应性能之间的关系。
系统研究了反应气体中的CH_4浓度、基片温度、反应压力等工艺参数及三种不同的沉积工艺方法对金刚石薄膜生长及质量的影响。常规形核-生长金刚石薄膜的工艺方法纯度低,电阻率小;形核-刻蚀-生长工艺方法合成金刚石薄膜纯度提高,电阻率增大;形核-刻蚀-生长-刻蚀-生长……循环工艺方法合成金刚石薄膜纯度和电阻率>形核-刻蚀-生长工艺>常规形核-生长工艺,优化工艺制备出高纯、高[100]取向膜,其电阻率在10~(11)Ω.cm数量级,比常规工艺提高了3个数量级。
...
【英文摘要】
With the improvement of the Chemical Vapor Deposition(CVD)diamond films properties including electrical characteristics, the fabrication of electronic devices based on the CVD diamond has been one of hot research subjects in this field. The diamond detector has many unique advantages, such as high signal-noise ratio, simple structure, normal output in extremely harsh surrounding and a tissue equivalent material. In addition, the diamond is non-toxic and inert to tissue fluid. Thus, the diamond is suitable f...
【更新日期】
2006-01-18
【相同导师文献】
导师：冉均国 导师单位：四川大学 学位授予单位：四川大学聚氨酯发泡法制备多孔HA/β-TCP生物陶瓷及其性能研究 [D]. 四川大学,2004金刚石薄膜制备工艺与电学、辐射响应性关系的研究 [D]. 四川大学,2005PC树脂镜片沉积DLC薄膜耐磨性及附着性的研究 [D]. 四川大学,2006纳米铁粉脱氯降解四氯化碳和四氯乙烯的研究 [D]. 四川大学,2006镍/铁基电磁波屏蔽涂料的研究 [D]. 四川大学,2007无铅低损耗Y5P-152高压介质瓷料的研究 [D]. 四川大学,2006共价键法制备葡萄糖传感器的研究 [D]. 四川大学,2001含碳酸根的双相HA/β-TCP多孔钙磷陶瓷的制备及其材料中类骨磷灰石形成的研究 [D]. 四川大学,2003纳米颗粒增强的葡萄糖生物传感器 [D]. 四川大学,2001以钙云母为主相的高强度可切削牙科微晶玻璃的研究 [D]. 四川大学,2002
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