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光栅印制机设计与实现  
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【英文题名】 Design and Realization of the Grating Duplicating Macline
【作者】 张光弢;
【导师】 高有行;
【学位授予单位】 西安电子科技大学;
【学科专业名称】 计算机系统结构
【学位年度】 2005
【论文级别】 硕士
【网络出版投稿人】 西安电子科技大学
【网络出版投稿时间】 2005-04-26
【关键词】 透射光栅; 曝光; 伺服系统; CPLD;
【英文关键词】 Transmission grating; Exposal; Servo system; CPLD;
【中文摘要】 光栅是一种高精度定位检测器件，在工业领域中应用非常广泛。根据“十·五”期间，我校承担的大幅面喷墨绘图机喷墨定位检测技术的需要，选用180dpi～360dpi透射光栅作为喷墨定位检测器件。 透射光栅图形主要由全息光刻产生，但由于受光栅生产设备的限制，使得生产的光栅长度有限，因此，提出分段曝光、连续印制的思想生产光栅，以使光栅的长度不受限制。曝光时，用电机控制装有母光栅的模板压下，利用拉伸辊、真空泵和负压腔等使光栅白坯平展无气泡，采用单片机内部定时器进行计时控制，使曝光时间更精确，保证曝光质量；连续印制过程中，用单片机实现伺服电机的位置闭环控制系统完成光栅胶片位移控制，机械方面采用传动轴变比连接、电气设计采用脉冲倍频电路、软件设计选用PID算法等措施保证胶片位移精度满足设计要求。另外，直观的操作面板设计可以使用户方便的对光栅长度和曝光时间等参数进行设定。 光栅码盘是绘图机使用的又一定位检测器件，圆形光栅根据定位标记安装在码盘底盘上构成光栅码盘，码盘安装合格是保证光码盘质量的前提。采用单片机实现伺服电机的位置闭环控制系统控制被测光码盘旋转一定角度，对被测码盘输...
【英文摘要】 Grating is one of the most effectively fixed position detector. In the tenth Five-year Project, our school undertook the research task of the Large-format inkjet plotter. According to the requirement of the Large-format inkjet plotter, we adopt the 180dpi~360dpi transmission grating as the inkjet anchor point detector.Holographic lithography is one of important method for producing transmission grating. The equipments physical volume is limited, so the length of grating that produced is limited , therefore,...

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导师：高有行    导师单位：西安电子科技大学    学位授予单位：西安电子科技大学
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