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磁敏线阵列CMOS传感器集成电路的研究  
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【作者】 姚韵若;
【导师】 朱大中;
【学位授予单位】 浙江大学;
【学科专业名称】 微电子学与固体电子学
【学位年度】 2005
【论文级别】 硕士
【网络出版投稿人】 浙江大学
【网络出版投稿时间】 2005-04-15
【关键词】 分裂漏磁敏晶体管; 电流灵敏度; 磁信号预处理电路; 相关二次采样; MosFET; MAGFET;
【英文关键词】 Split-drain magnetic transistor; Current sensitivity; Magnetic pre-processing circuits; Correlated double sampling; MOSFET; MAGFET;
【中文摘要】 基于硅的半导体磁敏传感器可以直接应用于测量磁场强度的各种磁场计，和读出磁介质上信息的各类磁头；也可以间接应用于把磁场作为媒介用来探测非磁信号的测量器件，如无接触开关、无触点电位器、电流计、功率计等。传统的磁敏传感器多为分立器件，采用焊接的方式将磁敏传感器和系统电路结合在一起。这种方式不能实现传感器与信号处理电路的单芯片集成，难以实现器件的微型化、系统化和智能化。 本论文主要的研究内容为磁敏线阵列传感器集成电路芯片。该芯片采用标准CMOS集成电路工艺制造，将磁敏传感器阵列与信号处理电路系统集成在同一芯片上，可以实现传感器的SOC(Systemon Chip)和智能化(Smart Sensor)设计。在芯片中的磁敏传感器单元采用扇形分裂漏MOSFET磁敏晶体管(扇形MAGFET)，直接将磁信号转化为电流信号输出。扇形结构的MAGFET器件是首次被提出，新结构提高了MAGFET器件的灵敏度。通过建立扇形MAGFET器件的灵敏度模型，优化了器件设计。信号处理电路系统中的磁信号预处理电路模块将MAGFET输出的电流信号放大，并转换成电压信号输出；同时数字控制电路切换磁信号预处理电路模块，实现...
【英文摘要】 Semiconductor magnetic sensor based on silicon is now widely used in many fields as automotive, medical or process control; in particular, magnetic field sensors can be used for on-chip contact-less current measurements. Traditional magnetic sensor is not integrated with the signal processing circuits in one chip, but is soldered with the discrete signal processing circuits. In this way, it's difficult to realize the microminiaturization, systematization and smart sensor.In this paper, a novel magnetic sens...

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