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大行程亚微米精度激光直写设备定位技术的研究     在线阅读 整本下载 分章下载 分页下载 本系统暂不支持迅雷或FlashGet等下载工具
【英文题名】 STUDY ON THE POSITIONING TECHNOLOGY OF LONG DISTANCE AND SUBMICROMETER ACCURACY LASER DIRECT WRITING DEVICE
【作者】 熊木地;
【导师】 邢忠宝;
【学位授予单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【学科专业名称】 光学工程
【学位年度】 2000
【论文级别】 博士
【网络出版投稿人】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【网络出版投稿时间】 2001-10-24
【关键词】 二元光学元件激光直写设备; 电荷控制; 精密定位; 三维定位; ; 划点精密定位; 误差补偿; 解耦控制;
【英文关键词】 LDWD; Precision positioning; 3-dimension positioning; Etching point positioning; Error compensation; Uncoupling control;
【英文摘要】 The Binary Optics Elements(BOE) Laser Direct Writing device is the key device which is used to fabricate Binary Optics Elements. The motion control system of the device is a precision four-axis trace control system. Two-Dimension or three-dimension motion can be realized by the system to produce all kinds of BOE. Because of long distance and high accuracy, making the device will include photolithograph, precision mechanic, 3-dimension precision positioning, focusing, leveling and figure inputting technologi...

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导师:邢忠宝    导师单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所    学位授予单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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