中国博士学位论文全文数据库
  关闭
基于自支撑金刚石薄膜的晶体管和紫外探测器制备与性能研究     在线阅读 整本下载 分章下载 分页下载 本系统暂不支持迅雷或FlashGet等下载工具
【英文题名】 Research on the Fabrication and Properties of Transistors and Uv Detectors Based on Freestanding Diamond Films
【作者】 黄健;
【导师】 夏义本;
【学位授予单位】 上海大学;
【学科专业名称】 材料学
【学位年度】 2010
【论文级别】 博士
【网络出版投稿人】 上海大学
【网络出版投稿时间】 2010-11-29
【关键词】 自支撑金刚石薄膜; 肖特基势垒栅场效应晶体管; ZnO薄膜; 紫外光探测器;
【英文关键词】 CVD diamond films; MESFET; ZnO films; UV detector;
【中文摘要】 由于金刚石薄膜具有优异的力学、热学、光学、电学和化学稳定性,使得它成为一种理想的电子器件用宽禁带半导体材料,基于金刚石薄膜的器件尤其适用于在高温、高功率、强辐射和腐蚀性的苛刻环境下应用。CVD金刚石薄膜,尤其是具有光滑表面的CVD自支撑金刚石薄膜的制备及其器件应用已经成为国际前沿课题。本论文主要研究了高质量自支撑CVD金刚石薄膜的制备及其在晶体管和光电探测器件方面的应用。 采用热丝辅助化学气相沉积(HFCVD)法和微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备自支撑金刚石薄膜。研究了衬底预处理方法对金刚石薄膜成核的影响。利用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)对薄膜厚度、薄膜成核面的表面形貌和取向性进行了分析,结果表明HFCVD法和MPCVD法制备的自支撑金刚石薄膜的成核面均十分平整;采用HFCVD法制备薄膜的速度要快于MPCVD法。通过Raman光谱仪及半导体特性表征系统研究了表面处理及退火处理对薄膜质量及电学性能的影响。结果表明采用MPCVD法制备的薄膜质量要优于HFCVD法制备的薄膜。 对MPCVD法制备的自支撑金刚石薄膜的成核面进行氢等离子处...
【英文摘要】 Due to the unique mechanical, thermal, optical, electrical properties and outstanding chemical stability, diamond film is an ideal wide-band-gap semiconductor material for electron devices, especially devices operating at high temperature, high power, high radiation and corrosion environments. It has been the international interesting subjects that the fabrication of CVD diamond films, especially freestanding diamond films with smooth nucleation surface, and their applications for devices. In this th...
【更新日期】 2010-12-21

【相同导师文献】

导师:夏义本    导师单位:上海大学    学位授予单位:上海大学
[1] 吴南春.电子辅助化学气相沉积法(EACVD)制备纳米金刚石薄膜及其光电性能的研究[D]. 上海大学,2008
[2] 钱群.含吡啶母环杂环化合物的合成、表征及生物活性研究[D]. 上海大学,2009
[3] 沈沪江.纳米金刚石薄膜及其辐射探测器的制备和性能研究[D]. 上海大学,2010
[4] 黄健.基于自支撑金刚石薄膜的晶体管和紫外探测器制备与性能研究[D]. 上海大学,2010
[5] 张明龙.CVD金刚石膜的光电性能及其在辐射探测器中的应用研究[D]. 上海大学,2005
[6] 包新华.熔盐相图智能数据库研究及其应用[D]. 上海大学,2005
[7] 卢保奇.四川石棉软玉猫眼和蛇纹石猫眼的宝石矿物学及其谱学研究[D]. 上海大学,2005
[8] 朱兴文.ZnO薄膜制备及其光、电性能研究[D]. 上海大学,2006
[9] 杨黎明.壳聚糖的改性及其智能水凝胶的研究[D]. 上海大学,2005
[10] 刘健敏.CVD金刚石薄膜在光电器件中的应用研究[D]. 上海大学,2007

xxx
【读者推荐文章】中国期刊全文数据库 中国重要报纸全文数据库 中国博士学位论文全文数据库 中国优秀硕士学位论文全文数据库 中国重要会议论文全文数据库
【相似文献】
中国期刊全文数据库
中国优秀硕士学位论文全文数据库
中国博士学位论文全文数据库
中国重要会议论文全文数据库
中国重要报纸全文数据库
中国学术期刊网络出版总库
点击下列相关研究机构和相关文献作者,可以直接查到这些机构和作者被《中国知识资源总库》收录的其它文献,使您全面了解该机构和该作者的研究动态和历史。
【文献分类导航】从导航的最底层可以看到与本文研究领域相同的文献,从上层导航可以浏览更多相关领域的文献。

工业技术
  无线电电子学、电信技术
   半导体技术
    半导体三极管(晶体管)

工业技术
  无线电电子学、电信技术
   光电子技术、激光技术
    紫外技术及仪器
  
 
  CNKI系列数据库编辑出版及版权所有:中国学术期刊(光盘版)电子杂志社
中国知网技术服务及网站系统软件版权所有:清华同方知网(北京)技术有限公司
其它数据库版权所有:各数据库编辑出版单位(见各库版权信息)
京ICP证040431号    互联网出版许可证 新出网证(京)字008号