中国优秀硕士学位论文全文数据库 共找到 1 条

[1]	马燕妮. 三维姿态传感器的研制[D]西安工业大学, 2015 .

中国博士学位论文全文数据库 共找到 30 条

[1]	孙广毅. 高深宽比微纳结构模拟、加工及应用[D]南开大学, 2010 .
[2]	林谢昭. 静电微器件的模型自由度缩减方法研究[D]浙江大学, 2010 .
[3]	吕良. MEMS汽车传感器设计关键技术的研究[D]北京邮电大学, 2011 .
[4]	周峰. 大跨度空间钢膜结构健康监测研究与应用[D]哈尔滨工业大学, 2011 .
[5]	谷磊. 海洋微结构剪切流传感器及其载体设计方法与实验研究[D]天津大学, 2011 .
[6]	刘春阳. 纳秒脉冲激光诱导单晶硅材料荧光效应的研究[D]天津大学, 2012 .
[7]	关乐. 基于宏模型技术的MEMS系统级仿真研究[D]大连理工大学, 2011 .
[8]	郭春海. 电磁力扰动作用下微管道中液体流动与混合的特性研究[D]南京理工大学, 2012 .
[9]	钟映春. 基于泳动方式的微机器人研究[D]广东工业大学, 2003 .
[10]	王沫然. 微纳尺度气体流动和换热的Monte Carlo模拟[D]清华大学, 2004 .

中国期刊全文数据库 共找到 60 条

[1]	蔡长龙,马睿,刘卫国,刘欢,周顺. 硅深刻蚀中掩蔽层材料刻蚀选择比的研究[J]半导体光电, 2009,(02) .
[2]	郑志霞. 双重掩蔽层实现石英晶体高深宽比刻蚀[J]半导体技术, 2012,(02) .
[3]	唐华锋,苑伟政. MEMS工艺集成化设计及其可视化[J]微纳电子技术, 2003,(Z1) .
[4]	兰靖,苑伟政,常洪龙,周志广,崔金强. Si微陀螺结构与接口电路的混合仿真[J]微纳电子技术, 2009,(08) .
[5]	方杰,刘泽文,赵嘉昊,陈忠民,韦嘉,刘理天,李志坚. 低损耗衬底上实现无源低通滤波器(英文)[J]半导体学报, 2006,(09) .
[6]	许晓飞,李邓化. MEMS钹式压电复合换能器的设计与仿真[J]北京机械工业学院学报, 2008,(01) .
[7]	关乐,褚金奎,王晓东,张段芹,王立鼎. 系统级设计方法及其在力学特性集成测试中的应用[J]传感技术学报, 2006,(05) .
[8]	闫子健,苑伟政,吕湘连,李俊,常洪龙. 基于Krylov子空间投影法的MEMS宏建模方法[J]传感技术学报, 2006,(05) .
[9]	常洪龙,谢建兵,徐景辉,阎子健,苑伟政. 一种可支持任意流程的MEMS设计工具[J]传感技术学报, 2006,(05) .
[10]	徐景辉,苑伟政,常洪龙,谢建兵. 一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法[J]传感技术学报, 2006,(05) .

中国重要会议论文全文数据库 共找到 4 条

[1]	贾继伟,金延中,张凤翠. 浅析微机电(MEMS)系统技术及其应用[A]十三省区市机械工程学会第五届科技论坛论文集[C], 2009 .
[2]	刘妤,温志渝,张流强,梁玉前. MEMS微加速度传感器的系统级仿真[A]中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C], 2005 .
[3]	邓扬明,李德胜. 基于准LIGA工艺的微型传动齿轮制作[A]第七届青年学术会议论文集[C], 2005 .
[4]	吴伟刚,杨防祖,骆明辉,田中群,周绍民. 柠檬酸盐体系镀铜及其在MEMS中的应用[A]环渤海表面精饰发展论坛论文集[C], 2010 .