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[1]	张盛东,韩汝琦,关旭东,刘晓彦,王阳元. 多晶硅超薄沟道薄膜晶体管研制(英文)[J]半导体学报, 2000,(04) .
[2]	罗志,林璇英,林舜辉,余楚迎,林揆训,余云鹏,谭伟锋. 氢化非晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析[J]物理学报, 2003,(01) .
[3]	林璇英,黄创君,林揆训,余运鹏,余楚迎,黄锐. 用SiCl_4-H_2低温沉积多晶硅薄膜微结构的Raman分析[J]物理学报, 2004,(05) .
[4]	郭晓旭,朱美芳,刘金龙,韩一琴,许怀哲,董宝中,生文君,韩和相. 高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究[J]物理学报, 1998,(09) .