同被引文献
与本文同时被作为参考文献引用的文献,与本文共同作为进一步研究的基础。

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[1] 刘续峰. ICP调谐基片偏压跳变回滞现象的研究[D]大连理工大学, 2002 .
[2] 张胜坤. 电容耦合射频辉光放电等离子体激发源研制[D]河北大学, 2005 .
[3] 曹焕丽. 小功率平面微带螺旋电感耦合微波等离子体源的研究[D]华东师范大学, 2006 .
[4] 周蓓. 小功率平面微带电感耦合微波等离子体源的研究[D]华东师范大学, 2007 .

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[1] 陈刚. 混合集成微型光纤光谱仪的研究[D]重庆大学, 2002 .

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[1] 宫晨利,李明扬. 稀土元素在粉末渗硼中的作用[J]安徽工学院学报, 1990,(03) .
[2] 吴鲁周,王志新,陈平. 稀土在渗硼工艺中的应用[J]兵器材料科学与工程, 1991,(05) .
[3] 杨国伟. 高频辉光放电等离子体系统中自负偏压现象的数学解析[J]半导体技术, 1998,(04) .
[4] 鞠挥,吴一辉. 微型光谱仪的发展[J]微纳电子技术, 2003,(01) .
[5] 宋登元,王永青,孙荣霞,宗晓萍,郭宝增. Ar气压对射频磁控溅射铝掺杂ZnO薄膜特性的影响[J]半导体学报, 2002,(10) .
[6] 王仁智,汝继来. 汽车内燃机汽门弹簧表面强化处理中的若干问题[J]中国表面工程, 2000,(02) .
[7] 马世宁 ,刘谦,梁秀兵. 高速电弧喷涂锌涂层性能研究[J]中国表面工程, 2000,(03) .
[8] 张加民. 辉光放电光谱仪及其在表面分析中的应用[J]表面技术, 2003,(06) .
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