【同被引文献】 与本文同时被作为参考文献引用的文献,与本文共同作为进一步研究的基础。
|
中国优秀硕士学位论文全文数据库 共找到 7 条
中国博士学位论文全文数据库 共找到 7 条
中国期刊全文数据库 共找到 112 条
[1] | 傅德生,苏伟,彭勃. 电容式微机械加速度计部分力学特性的分析[J]安徽工程科技学院学报(自然科学版), 2003,(04)
.
|
[2] | 吴英,江永清,温志渝,胡松. 硅微电容式加速度传感器结构设计[J]半导体光电, 1999,(04)
.
|
[3] | 彭良强,徐韬光,韩勇,伊福廷,张菊芳. 质子LIGA工艺的探讨[J]微纳电子技术, 2002,(05)
.
|
[4] | 何洪涛,杨拥军,徐永青,吝海锋. 引信用高g加速度计研究[J]微纳电子技术, 2002,(06)
.
|
[5] | 李海军,杨拥军. 大位移、低电压驱动MEMS静电梳齿驱动器的设计与研究[J]微纳电子技术, 2002,(07)
.
|
[6] | 孙振新,黄庆安,李伟华. MEMS器件VHDL-AMS宏模型[J]微纳电子技术, 2003,(05)
.
|
[7] | 张海霞,郭辉,肖志勇,周荣春,郝一龙. MEMS CAD系统IMEE的研究和开发[J]微纳电子技术, 2003,(Z1)
.
|
[8] | 贾玉斌,郝一龙,钟莹,张嵘. 基于谐振原理的硅微机械加速度计[J]微纳电子技术, 2003,(Z1)
.
|
[9] | 彭述成,温志渝,温中泉,潘银松,李霞. 真空微电子加速度传感器结构的有限元分析[J]微纳电子技术, 2003,(Z1)
.
|
[10] | 黄树森,郭南翔,黄晖,宋朝辉,李欣昕,王跃林. 一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化[J]微纳电子技术, 2003,(Z1)
.
|
|