中国优秀硕士学位论文全文数据库 共找到 14 条

[1]	陈改革. 阵列型小孔节流静压空气平面轴承的建模仿真研究[D]西南科技大学, 2011 .
[2]	凌浩. 面向精化的表面微加工MEMS建模及可制造性分析[D]华东理工大学, 2012 .
[3]	李伟. 高g值硅微加速度计的结构设计与分析[D]南京理工大学, 2005 .
[4]	吴雷. MEMS面型微加热器的结构设计和制作[D]中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）, 2005 .
[5]	徐景辉. MEMS工艺集成化设计与仿真技术研究[D]西北工业大学, 2006 .
[6]	胡敏. 基于阵列技术的MEMS虚拟陀螺技术研究[D]西北工业大学, 2006 .
[7]	张承亮. 微型压力传感器的系统级建模与仿真[D]西北工业大学, 2007 .
[8]	闫子健. MEMS CAD器件级宏模型获取技术[D]西北工业大学, 2007 .
[9]	冯鹏洲. 微机电安全与解除保险装置关键技术研究[D]南京理工大学, 2008 .
[10]	齐东周. 基于降阶宏模型的MEMS系统级仿真平台研究[D]大连理工大学, 2008 .

中国博士学位论文全文数据库 共找到 4 条

[1]	吕良. MEMS汽车传感器设计关键技术的研究[D]北京邮电大学, 2011 .
[2]	关乐. 基于宏模型技术的MEMS系统级仿真研究[D]大连理工大学, 2011 .
[3]	李建华. 基于实体模型的表面微加工MEMS器件设计与评价研究[D]浙江大学, 2005 .
[4]	胡伟. 面向MEMS产品概念设计的多模式实例检索与评价方法研究[D]华南理工大学, 2012 .

中国期刊全文数据库 共找到 13 条

[1]	兰靖,苑伟政,常洪龙,周志广,崔金强. Si微陀螺结构与接口电路的混合仿真[J]微纳电子技术, 2009,(08) .
[2]	许晓飞,李邓化. MEMS钹式压电复合换能器的设计与仿真[J]北京机械工业学院学报, 2008,(01) .
[3]	关乐,褚金奎,王晓东,张段芹,王立鼎. 系统级设计方法及其在力学特性集成测试中的应用[J]传感技术学报, 2006,(05) .
[4]	常洪龙,谢建兵,徐景辉,阎子健,苑伟政. 一种可支持任意流程的MEMS设计工具[J]传感技术学报, 2006,(05) .
[5]	徐景辉,苑伟政,常洪龙,谢建兵. 一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法[J]传感技术学报, 2006,(05) .
[6]	谢志雄,苑伟政,常洪龙,徐景辉,谢建兵. MEMS版图抽取及系统级模型自动构建技术[J]传感技术学报, 2008,(04) .
[7]	李燕斌,邵可然,雷刚,张爱军. 静电梳齿驱动器静电-结构耦合的仿真分析[J]华中科技大学学报(自然科学版), 2009,(02) .
[8]	黄继伟,王志功,孟桥,李宏生,王蓉. MEMS的无生产线模式设计与实现[J]中国集成电路, 2005,(10) .
[9]	张晓丹,柯熙政,张志禹,张琦. 微电子机械系统数字地震检波器模拟方法的研究[J]机械科学与技术, 2011,(09) .
[10]	王小娟,国蓉,王伟,霍鹏飞,郭玮玮. MEMS固态引信谐振器的系统级设计与仿真[J]科技广场, 2007,(09) .

中国重要会议论文全文数据库 共找到 1 条

[1]	刘妤,温志渝,张流强,梁玉前. MEMS微加速度传感器的系统级仿真[A]中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C], 2005 .