中国优秀硕士学位论文全文数据库 共找到 37 条

[1]	纪红. 适于SAW器件“AlN/硅”“AlN/金刚石”多层膜制备及结构性能研究[D]天津理工大学, 2010 .
[2]	黄国俊. 硅/锗掺杂类金刚石薄膜特性研究[D]西安工业大学, 2011 .
[3]	史君黛. 磁控溅射制备ZnO薄膜的研究[D]暨南大学, 2011 .
[4]	徐礼. 增透型AZO薄膜的制备及应用[D]上海师范大学, 2011 .
[5]	窦建培. SYSC-F01型层压机加热系统的热力学分析与研究[D]燕山大学, 2012 .
[6]	李强. 氧化锌薄膜及其掺杂特性[D]长春工业大学, 2011 .
[7]	黄大鹏. GaN基金属—铁电体—半导体场效应晶体管关键技术研究[D]西安电子科技大学, 2005 .
[8]	张巍. 微光学自适应系统中基于PZT薄膜的微反射镜单元工艺研究[D]浙江大学, 2006 .
[9]	陈华品. ZnO薄膜的制备与压电传感器压电结构的有限元分析[D]电子科技大学, 2006 .
[10]	邵春玉. PZT压电薄膜的改性研究[D]大连理工大学, 2006 .

中国博士学位论文全文数据库 共找到 4 条

[1]	王如. HVPE法制备GaN体材料的研究[D]河北工业大学, 2010 .
[2]	郭俊福. 宽禁带半导体器件的研制及其测量技术[D]中国科学技术大学, 2008 .
[3]	杜小振. 环境振动驱动微型压电发电装置的关键技术研究[D]大连理工大学, 2008 .
[4]	冯斌. 嵌入式电极侧向场激励FBAR若干问题的研究[D]浙江大学, 2013 .

中国期刊全文数据库 共找到 31 条

[1]	田跃生. 溅射环境下影响硅薄膜晶化的因素[J]表面技术, 2011,(03) .
[2]	刘红梅,邱成军,曹茂盛. PZT薄膜在MEMS器件中的研究进展[J]材料工程, 2004,(06) .
[3]	张明,周都成,陈海峰,王栩. 采用DOE方法优化非晶硅溅射工艺[J]电子与封装, 2012,(05) .
[4]	夏冬林,王慧芳,石正忠,张兴良,刘俊. 掺硼p型非晶硅薄膜的制备及光学性能的表征[J]影像科学与光化学, 2010,(04) .
[5]	陈小焱,王璟,丁雨田. 直流磁控溅射制备ZAO透明导电薄膜及性能研究[J]功能材料, 2013,(01) .
[6]	徐姝颖,孙彤,刘连利,王莉丽,侯冰,吴朝凌. 稀土离子掺杂及制备方法对钛酸盐发光材料性能影响的研究及展望[J]材料导报, 2014,(05) .
[7]	段良飞,杨雯,杨培志,张力元,宋肇宁. 低温铝诱导晶化制备纳米晶硅薄膜的物相和光学性能研究[J]光谱学与光谱分析, 2014,(08) .
[8]	潘永强,黄国俊. 电子束热蒸发非晶硅薄膜红外光学特性[J]红外与激光工程, 2011,(11) .
[9]	胡国华,陈建平. ZnO薄膜的制备及应用研究进展[J]江苏陶瓷, 2008,(06) .
[10]	邓菊莲,廖华,姚朝辉,龙维绪,王志刚,崔海昱. 氧化锌透明导电膜[J]可再生能源, 2008,(06) .

中国重要会议论文全文数据库 共找到 1 条

[1]	佟建华,刘梦伟,崔岩,董维杰,王兢,崔天宏,王立鼎. 硅基PZT薄膜微型悬臂的特性及其在微型传感器执行器上的应用[A]第二届全国信息获取与处理学术会议论文集[C], 2004 .