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[1]	王艳艳. 低温下Poly-Si薄膜的ECR-PECVD生长及特性研究[D]大连理工大学, 2007 .
[2]	李伯海. ECR-PECVD法低温沉积Poly-Si薄膜的研究[D]大连理工大学, 2007 .

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[1]	李娟,赵淑云,刘建平,吴春亚,张晓丹,孟志国,赵颖,熊绍珍,张丽珠,张震. 薄起始层的VHFPECVD底栅微晶硅薄膜晶体管(英文)[J]半导体学报, 2005,(06) .