中国优秀硕士学位论文全文数据库 共找到 2 条

[1]	李伟. 高g值硅微加速度计的结构设计与分析[D]南京理工大学, 2005 .
[2]	李元元. 变面积差分电容式微机械加速度传感器的建模仿真[D]吉林大学, 2007 .

中国博士学位论文全文数据库 共找到 1 条

[1]	胡伟. 面向MEMS产品概念设计的多模式实例检索与评价方法研究[D]华南理工大学, 2012 .

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[1]	王永泉,陈花玲,彭倍,朱子才. MEMS节点化建模及其在集成微系统设计中的应用[J]光学精密工程, 2010,(01) .

中国重要会议论文全文数据库 共找到 1 条

[1]	刘妤,温志渝,张流强,梁玉前. MEMS微加速度传感器的系统级仿真[A]中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C], 2005 .