【参考文献】 反映本文研究工作的背景和依据。
|
中国博士学位论文全文数据库 共找到 3 条
中国期刊全文数据库 共找到 48 条
[1] | 汤儆,毛秉伟,田中群. 电化学扫描探针显微镜在表面微/纳米加工的应用[J]微纳电子技术, 2003,(Z1)
.
|
[2] | 孔祥东,张玉林,宋会英,卢文娟. 微机电系统的微细加工技术[J]微纳电子技术, 2004,(11)
.
|
[3] | 张辽远,刘尧. 电化学加工微电极的工艺研究[J]兵工学报, 2005,(01)
.
|
[4] | 王沫然,李志信. 基于MEMS的微泵研究进展[J]传感器技术, 2002,(06)
.
|
[5] | 史先传,朱荻,徐惠宇. 电解加工中最小间隙检测方法[J]传感器技术, 2005,(05)
.
|
[6] | 徐惠宇,朱荻,史先传. 电化学微细加工监控系统的研究[J]传感器技术, 2005,(07)
.
|
[7] | 田昭武,林华水,孙建军,周勇亮,祖延斌,田中群,罗瑾,林仲华,谢兆雄,胡维玲,胡涌刚,苏文煅. 微系统科技的发展及电化学的新应用[J]电化学, 2001,(01)
.
|
[8] | 朱荻. 国外电解加工的研究进展[J]电加工与模具, 2000,(01)
.
|
[9] | 施文轩,张明歧,殷旻,吴志刚. 电射流加工工艺研究和发展[J]电加工与模具, 2001,(01)
.
|
[10] | 杨光
,郑云飞
,李勇. 微细电化学加工电源的设计与研究[J]电加工与模具, 2002,(02)
.
|
[11] | 李小海,赵万生,王振龙. 微细电解加工脉冲电源的研制[J]电加工与模具, 2004,(05)
.
|
[12] | 狄士春,吴海波,王贤成,赵万生. 电化学加工脉冲电源的研制与实验研究[J]电加工与模具, 2005,(01)
.
|
[13] | 周旋. 小型大功率纳秒脉冲发生器设计──模块化脉冲源(MPS)之一例[J]电子产品世界, 2000,(01)
.
|
[14] | 王科平,葛峻,秦明. MEMS静电执行光开关的设计与实验[J]电子器件, 2003,(03)
.
|
[15] | 吕亮,方亮,刘蕾,屠德民. 小型纳秒级电压脉冲发生器的研制[J]高电压技术, 2003,(03)
.
|
[16] | 赵葛霄,吕文阁,陈远志. 特种加工技术在精密微细加工中的应用[J]工具技术, 2001,(08)
.
|
[17] | 梁静秋,姚劲松. LIGA技术基础研究[J]光学精密工程, 2000,(01)
.
|
[18] | 姚劲松,王志勤,王飞,宣明,梁静秋,王一凡. 准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用[J]光学精密工程, 1995,(03)
.
|
[19] | 白兰,吴一辉,张平. 基于MEMS的微流体混合器的研究与进展[J]哈尔滨工业大学学报, 2004,(04)
.
|
[20] | 胡小唐,郭育,刘安伟,吉贵军. 微探针电化学加工机理及针尖尺寸控制技术[J]化工学报, 1995,(05)
.
|
|