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基于光学探针平台的微尺度检测技术和方法研究
【机构】 清华大学工程力学系FML；
【摘要】 <正> 随着生物技术、半导体技术等在微纳观领域的高速发展,对微尺度结构和材料的研究受到越来越多的关注,尤其在实验技术领域,能对特征尺度在微纳尺度的检测对象进行直接、实时的检测和操纵成为微尺度研究领域的热点,也是研究者们面临的具有挑战性的研究课题。本文结合微尺度光学干涉技术和探针加载技术,提出了基于全场光学实时检测的光学探针微尺度检测技术及平台。在这一技术中,微尺度全场光学干涉检测可以同时提供微尺度检测对象的变形信息和加载探针的微力
【基金】 国家自然科学基金(10372049,10072031,10232030);国家重点基础研究发展计划(2004CB619304);清华大学强度开放基金资助项目
- 【会议录名称】 中国力学学会学术大会’2005论文摘要集（上）
- 【会议名称】中国力学学会学术大会’2005
- 【会议时间】2005-08
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】O348.1
- 【主办单位】中国力学学会、北京工业大学