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SNO2掺Sb薄膜导电机理

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【作者】 陈洪； 杨珺； 杨贤镛；

【机构】 湖北工业大学机械工程学院； 湖北工业大学机械工程学院 武汉430068； 武汉430068；

【摘要】 透明导电膜是一种重要的光电材料,应用广泛。本文介绍了掺锑氧化锡(ATO)薄膜的导电机理和光电性能。掺锑氧化锡薄膜属四方相金红石结构,薄膜中的Sn呈+4价,掺杂的Sb分别以+5和+3价形式存在。对SnO2薄膜电学性能的研究表明,适量的Sb掺杂能显著提高薄膜的导电性能,但是过量的掺杂会导致导电性能的下降。

【关键词】 透明导电薄膜； 导电性能； 锑掺杂二氧化锡薄膜； 导电率；
  • 【文献出处】 科技咨询导报 ,Science and Technology Consulting Herald , 编辑部邮箱 ,2007年15期
  • 【分类号】TM242
  • 【被引频次】1
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