LCD相关原材料产业发展态势(下)

【摘要】 <正>4 ITO玻璃通常在基片玻璃上用电子束蒸发或在氧气气氛中溅射得到ITO膜,膜厚在100～300nm之间,由所需的电阻所确定。在溅射时,采用ITO合金靶,在SnO₂-In₂O₃合金中,SnO₂的浓度大约为5%～10%时,有利于得到最佳的ITO膜性能。在沉积过程中,氧更多还原