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等离子体源离子注入柱形空心阴极内表面的蒙特—卡罗模拟

MONTE CARLO SIMULATION OF IONS INSIDE A CYLINDRICAL BORE FOR PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION

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【作者】 孔令宜张连珠栗平

【Author】 Kong Lingyi Zhang Lianzhu Li Ping( College of Physics,Hebei Normal University,050016,Shijiazhuang,China )

【机构】 河北师范大学物理科学与信息工程学院河北师范大学物理科学与信息工程学院 050016石家庄050016

【摘要】 采用蒙特—卡罗方法对柱形空心阴极的氮离子(N+,N2+)注入进行了研究,考虑了氮离子与中性原子的电荷交换和弹性碰撞,计算了氮离子在不同压强下鞘层内表面的能量分布及角分布.

【Abstract】 The ions(N+,N+2)transport processe at the interior sidewall of a large cylindrical bore is studied by using Monte Carlo simulation.The ion-neutral charge exchange and elastic collision are taken into account.We calculate the energy distribution and angular distribution under different pressure.

  • 【文献出处】 山东师范大学学报(自然科学版) ,Journal of Shandong Normal University(Natural Science) , 编辑部邮箱 ,2007年01期
  • 【分类号】O539
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