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硬质合金上沉积金刚石膜的基体预处理方法进展

Progress in substrate pretreatment of cemented carbide coated with CVD diamond film

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【Author】 Zhu Hongmei1 Kuang Tongchun2 Xiang Xiongzhi1 Cheng Xiaoling1 Lei Shumei2 Yin Shiheng2 Wang Xionghua1 (1.School of Materials and Energy,Guangdong University of Technology, Guangzhou 510090,China) (2.The Center of Analysis and Testing,South China University of Technology,Guangzhou 510641,China)

【机构】广东工业大学材料与能源学院；华南理工大学分析测试中心；广东工业大学材料与能源学院广州510090；广州510641；广州510090；

【摘要】本文重点对近年硬质合金基体表面预处理方法及其对CVD金刚石膜沉积的影响进行了综述。按其原理来分,预处理方法可分为物理预处理法、化学预处理法以及中间层法。大量实验结果表明通过适当的预处理能有效消除或抑制基体中钴黏结相的负面影响,提高金刚石的形核密度以及膜基结合力,从而获得理想的薄膜质量。更多还原

【Abstract】 The pretreatment methods of cemented carbide substrate and their effects on CVD diamond film were mainly summarized.The methods could be divided into physical pretreatment methods,chemical pretreatment methods and interlayers method according to their principles.Lots of experiment results showed that proper pretreatments could reduce the negative influences of Co binder phase in the substrates and improve the diamond nucleation and film adhesion,and this obtain ideal film quality.更多还原

【关键词】硬质合金； CVD金刚石膜；预处理；形核密度；结合力；
【Key words】 cemented carbide； CVD diamond film； pretreatment； nucleation density； adhesion；

【基金】国家自然科学基金(50171022);广东省自然科学基金(重点)(010013);广东省自然科学基金(030025);广东省科技计划项目(工业攻关计划)(2004B10301032)联合资助

【文献出处】金刚石与磨料磨具工程 ,Diamond & Abrsives Engineering , 编辑部邮箱 ,2007年01期

【分类号】TG174
【被引频次】22
【下载频次】398

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