三氟化氮制备方法概述-中国学术期刊网络出版总库

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三氟化氮制备方法概述

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【英文篇名】	Development in methods of producing nitrogen trifluoride
【下载频次】	★★★★★
【作者】	冀延治; 王少波; 李本东; 付嫚;
【英文作者】	JI Yan-zhi; WANG Shao-bo; LI Ben-dong; FU Man (The 718 Research Institute of CSIC; Handan 056027; China);
【作者单位】	中国船舶重工集团公司第七一八研究所; 中国船舶重工集团公司第七一八研究所河北邯郸; 河北邯郸;
【文献出处】	舰船科学技术 , Ship Science and Technology, 编辑部邮箱 2007年 02期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊中国期刊方阵 CJFD收录刊
【中文关键词】	三氟化氮; 电解法; 直接化合法;
【英文关键词】	nitrogen trifluoride; electroanalysis; the direct synthesis;
【摘要】	介绍了三氟化氮气体的2种生产方法——直接化合法和电解法,并根据它们的研究发展方向,具体介绍了其基本原理、生产工艺以及相关的工艺设备。
【英文摘要】	In this paper, we introduce two manufactural methods of nitrogen trifloride gas which are the electroanalysis and the direct synthesis. And according to researching development of them, we concretely discuss their fundmental laws, and production processes and equipments of them.
【更新日期】	2007-05-14
【分类号】	TQ124.3
【正文快照】	0引言三氟化氮(NF3)是一种有毒、无味、无色、不燃气体,是强氧化剂和助燃剂[1]。NF3气体作为刻蚀剂和清洗剂在电子工业中得到广泛的应用。到2005年底,NF3气体的全球需求量将达到3600t左右。据预测国内近5年的年需求增长率都在50%左右,未来几年国外对NF3的需求增长率至少达到20%

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