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H~+辐照前后Mo涂层表面的XPS分析

XPS characterization of the molybdenum films before and after H+ ion irradiation

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【Author】 LIU Chun-hai1,DU Xiao-song2,WANG De-zhi1,HUANG Ning-kang1,YANG Bin1(1.Key Laboratory for Radiation Physics and Technology of Education Ministry of China,Institute of Nuclear Science and Technology,Sichuan University,Chengdu 610064,China;2.School of Optoelectronic Information,University of Electronic Science and Technology,Chengdu 610054,China)

【机构】四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室；电子科技大学光电信息学院；四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室四川成都610064；四川成都610054；四川成都610064；

【摘要】对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的钼膜进行了H+辐照前后的XPS分析,研究了H+辐照对钼膜的结合能的影响。分析结果表明,沉积的钼膜中除了单质钼外,还有部分钼的氧化物;H+辐照结果表明,H+的辐照使钼的结合能向低能方向偏移;钼的氧化物有所减少,说明污染的氧化物在一定程度上被择优溅射掉。更多还原

【Abstract】 Mo films on stainless steel prepared by ion beam mixing were irradiated by hydrogen ion beam with an energy of 10keV and a dose of 1×1018ions/cm2.The X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) was used for characterization of chemical bonding states of Mo and O elements in Mo films before and after hydrogen ion irradiation in order to study the effect of hydrogen ion irradiation on Mo films.The experiment results show that the binding energy of one part of molybdenum component shifted to the lower side due to H+ ion irradiation.It is found that the content of the molybdenum oxides in the film was reduced by preferential oxygen sputtering after H+ ion irradiation.更多还原

【关键词】离子束混合； Mo薄膜； H+辐照； XPS分析；
【Key words】 ion beam mixing； molybdenum films； H+ ion irradiation； XPS；

【基金】国家自然科学基金资助项目(59781002);辐射物理及技术教育部重点实验室基金资助项目(K2005-02)

【文献出处】功能材料 ,Journal of Functional Materials , 编辑部邮箱 ,2007年02期

【分类号】O484.4
【被引频次】3
【下载频次】378

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