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国内PVD技术应用与研究现状

Research Status and Applications of PVD in Our Country

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【作者】 梁红樱赵海波王辉张欣苑李祝

【Author】 Liang hongying Zhao haibo Wang hui et al

【机构】 四川大学四川大学 610016成都市610016成都市

【摘要】 在总结目前国内商业应用刀具PVD技术的发展状况的基础上,介绍了国内纳米超硬薄膜的研究现状及特点;分析了国内当前PVD技术应用与研究所存在的问题,提出了研究、开发的新思路。

【Abstract】 The development of PVD in our country was summarized in this paper,research status and characteristics of nanometer super-hard films were reviewed.Moreover the problems in applications and research of PVD were analyzed and one new plan of exploitation was suggested.

【关键词】 PVD超硬薄膜纳米制备技术
【Key words】 PVDsuper-hard filmsnanometerpreparation technologies
  • 【分类号】TG71
  • 【被引频次】40
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