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多晶硅铸锭炉加热室的设计
Design about the Heating Chamber of Polycrystalline Silicon Ingot Production Furnace
【摘要】 加热室是多晶硅铸锭炉的关键部件之一。多晶硅锭的生长工艺过程都要通过加热室的调整来实现。着重介绍了多晶硅铸锭炉加热室的结构设计。
【Abstract】 Heating chamber is pivotal part of the polycrystalline silicon ingot production furnace. Technique process of growth of the polycrystalline silicon is based on the adjustment of the heating chamber. This paper mainly introduce the structure design about the heating chamber of the polycrystalline silicon ingot production furnace.
【关键词】 多晶硅铸锭炉；
加热室；
石墨加热器；
隔热层；
【Key words】 Polycrystalline silicon ingot production furnace； Heating chamber； Graphite heaters； Thermal insulation；
【Key words】 Polycrystalline silicon ingot production furnace； Heating chamber； Graphite heaters； Thermal insulation；
- 【文献出处】 电子工业专用设备 ,Equipment for Electronic Products Manufacturing , 编辑部邮箱 ,2007年07期
- 【分类号】TG232
- 【被引频次】11
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