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SmCo薄膜的共溅射制备及磁学性能研究

Studies on the Preparation and the Magnetic Property of SmCo/Cr Thin Films with Co-sputtering

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【作者】 王辉黄致新吴斌张峰刘敏张玉龙章平

【Author】 WANG Hui,HUANG Zhi-xin,WU Bin,ZHANG Feng,LIU Min,ZHANG Yu-long,ZHANG Ping(1.Dept.of Physics,Huazhong Normal University,Wuhan 430079,China;2.Dept.of Physics and Engineering electronics,Yunyang Teacher’s College,Danjiang kou 442700,China)

【机构】 华中师范大学物理科学与技术学院郧阳高等师范专科学校物理与电子工程系郧阳高等师范专科学校物理与电子工程系 武汉430079武汉430079丹江口442700

【摘要】 采用磁控共溅射方法制备了非晶态的SmCo磁性薄膜,用振动样品磁强计(VSM)分析了薄膜的磁学性能,并通过原位后退火处理研究了其磁学性能。结果表明,在600℃下退火30分钟,SmCo薄膜样品的矫顽力升高,并且磁化取向有从面内转向垂直方向的趋势。

【Abstract】 Amorphous SmCo magnetic films were fabricated by magnetron co-sputtering method and the magnetic properties were measured by a vibrating sample magnetometer(VSM).Through in-site post annealing,the magnetic properties of the SmCo thin films were investigated.The results shows that after 600 ℃,30min annealing,the coercivity of SmCo films will be increased and the magnetic anisotropy will be changed from in-plane to normal-plane.

【关键词】 SmCo薄膜共溅射退火矫顽力
【Key words】 SmCo filmco-sputteringannealingcoercivity
【基金】 湖北省自然科学基金资助项目,(2005ABA041)
  • 【文献出处】 信息记录材料 ,Information Recording Materials , 编辑部邮箱 ,2007年01期
  • 【分类号】O484.43
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