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CaF2晶体及加工技术研究

Studies on CaF2 Single Crystals and Its Processing Technique

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【作者】 段安锋范翊刘景和沈永宏

【Author】 DUAN Anfeng1,2,FAN Yi1,LIU Jinghe3,SHEN Yonghong1(1.Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130031;2.Graduate School of the Chinese Academy of Sciences,Beijing 100039;3.Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022)

【机构】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春理工大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春130031中国科学院研究生院北京100039长春130031长春130022

【摘要】 随着深紫外准分子激光光刻技术的发展,所用CaF2光学晶体镜头材料的加工对传统的冷加工技术提出了挑战。本文结合CaF2晶体的基本性质,对其加工技术进行了极大的改进。通过控制合适的工艺参数,采用特殊的加工方法可以加工出高质量的CaF2光学晶体。

【Abstract】 With the development of far UV quasi-molecule laser lithography technique,the processing of CaF2 optical crystal lens material challenged traditional cool processing techniques.Combined with the fundamental properties of CaF2 crystal,the processing techniques was improved a lot in this study.Experimental results showed that high-quality optical crystals were processed by optimum technology parameters and the special processing method.

【关键词】 CaF2晶体切割抛光晶体加工
【Key words】 CaF2 crystalcuttingpolishingcrystal processing
  • 【文献出处】 长春理工大学学报(自然科学版) ,Journal of Changchun University of Science and Technology(Natural Science Edition) , 编辑部邮箱 ,2007年02期
  • 【分类号】O614.231
  • 【被引频次】24
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