节点文献

惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材研究

Preparation of W-Ti Sputtering Targets under Inert Atmosphere

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具,请取消加速工具后下载。

【作者】 王赞海王星明储茂友郭奋赵鑫沈剑韵

【Author】 Wang Zanhai~(1,2*),Wang Xingming~1,Chu Maoyou~1,Guo Fen~2,Zhao Xin~(1,2),Shen Jianyun~1 ((1.Mining),Metallurgy & Materials Research Department,General Research Institute for Non-Ferrous Metals,Beijing 100088,China;2.Research Center of Ministry of Education for High Gravity Engineering and Technology,Beijing University of Chemical Technology,Beijing 100029,China)

【机构】 北京有色金属研究总院矿物资源与冶金材料研究所北京化工大学教育部超重力研究中心北京有色金属研究总院矿物资源与冶金材料研究所 北京100088北京100029北京100088

【摘要】 用W粉和Ti粉作原料,采用惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材。研究了靶材致密性、富Ti的β相含量、微观结构均匀性与工艺条件的关系。结果表明,控制温度在1250~1450℃之间,压力在20 MPa左右,保温时间在30 min左右可制备高性能的W/Ti合金靶材。

【Abstract】 W-Ti targets were fabricated by inert gas hot press method.The target characteristics including relative density,microstructure,content of Ti rich β phase were introduced.The relationship between target characteristic and technical conditions was researched.The results show that under the condition of temperature range of 1250~1450 ℃,hot press about 20 MPa and heat preservation time about 30 min,good quality target can be fabricated.

【基金】 国家自然科学基金资助项目(50501003);国家科技攻关资助项目(2004DFBA0003)
  • 【文献出处】 稀有金属 ,Chinese Journal of Rare Metals , 编辑部邮箱 ,2006年05期
  • 【分类号】TF124.3
  • 【被引频次】26
  • 【下载频次】348
节点文献中: 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络